판매용 중고 CANON PLA 501 FA #293652732

CANON PLA 501 FA는 마이크로 전자 장치 생산에 사용되는 마스크 정렬 도구입니다. 이 "타이너 '는 정밀도 가 높은" 반도체' 부품 과 집적 회로 장치 의 제조 에 있어서 기판 위 에 "포토마스크 '나" 레티클' 을 정확 하게 배치 하도록 설계 되었다. 이 장치에는 매우 정확한 광학 정렬 시스템과 CCD 카메라 기반 이미징 시스템이 있습니다. 이 기계는 자동 정렬 (automated alignment) 기능을 통해 마스크 배치 프로세스의 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. CANON PLA-501FA는 2 세트의 가파른 필드 렌즈로 만들어졌으며, 각 렌즈에는 2 개의 목표, 2 개의 접안, 2 개의 광선 및 회전 포탑이 포함됩니다. 광선 (light beam) 은 정렬 목적으로 사용되고, 터렛은 회전하여 기계를 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 작업과 정렬할 수 있도록 합니다. 정렬기의 정밀도 연산 (precision operation) 을 통해 초당 500 개의 정렬 샘플링 포인트에서 최대 20 미크론의 정렬 정밀도를 달성 할 수 있습니다. PLA 501FA에는 연산자가 정렬 작업을 사용자 정의할 수 있도록 다양한 기능이 있습니다. 이러한 기능에는 배치 전에 마스크 또는 레티클을 회전하고 스캔하는 데 사용되는 로터리 암 (rotary arm), 다이-투-다이 (die-to-fiducial) 정렬 모드, 백사이드 정렬, 이미지 전송 정렬 모드 및 자동 정렬 모드 선택이 포함됩니다. 또한 Aligner 는 추가 분석 시 또는 품질 표준 준수용 고해상도 마스크 이미지를 위한 이미지 캡처 (image capture) 기능을 제공합니다. 정확성과 반복성을 고려할 때, CANON PLA 501FA는 대규모 마이크로 전자 장치 생산에 이상적인 도구입니다. 이 장치는 레티클을 정확하게 정렬하고, 스텐실 (stencil) 생성을 돕고, 생산 과정에서 품질 관리를 개선할 수 있습니다. 알리너 (aligner) 는 또한 같은 기판의 레티클 (reticle) 에서 광학을 비교하여 패턴 사이의 결함을 감지 할 수있는 비교 정렬 기능을 제공합니다. 또한, 이 조정자는 기존 생산 라인에 쉽게 통합되므로, 모든 생산 시설에 대한 귀중한 투자입니다.