판매용 중고 CANON PLA 501 FA #293592858

CANON PLA 501 FA는 대용량 마이크로 및 나노 스케일 장치 제조에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 패턴 화 된 포토 esist 재료를 가져와 기판 표면에 배치하도록 설계되었습니다. CANON PLA-501FA (CANON PLA-501FA) 는 정밀도 및 반복성이 높은 완전 자동 마스크 정렬기로, 정밀도 부품의 대규모 생산에 적합한 도구입니다. 이 기계는 우수한 정렬 기능과 빠르게 조절 가능한 매개변수 (예: 노출 시간, 해상도) 를 결합합니다. PLA 501FA 에는 고해상도 광학 현미경, 레이저 시스템, 자동 초점 카메라 (auto-focus camera) 가 포함되어 있어 완성된 장치의 엄격한 정렬 및 반복 가능한 품질이 가능합니다. 솔리드 바이즈 (solid vise) 지원과 X 및 Y 단계의 직접 이동이 가능한 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 각 오버레이에 대한 마스크 및 기판을 정확하게 배치합니다. 캐논 플라 501FA (CANON PLA 501FA) 는 또한 자외선 노출 중 두꺼운 저항 응용과 고속 스핀 코팅을 가능하게하는 저항 분배 기능을 가지고 있습니다. 이 기능을 사용하면 기판 표면에 강착 된 코팅 (coating) 층의 뛰어난 제어 및 균일성이 가능합니다. PLA-501 FA는 광 시스템을 위한 개방형 아키텍처를 갖추고 있으며, 고정밀 정렬에 사용할 수 있는 N 시리즈 블록 마스크 홀더를 지원할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 다양한 드라이브 (drive) 기술을 통해 최대의 유연성을 제공하므로 단일 시스템에서 여러 장치를 동시에 생산할 수 있습니다. 이 기계는 자동화된 e- 빔 제어, 높은 정확도 리소그래피, 뛰어난 반복성을 제공하는 강력하고 효율적인 작동을 제공합니다. 또한 레지스트 레이어 (resist layer) 를 기판에 최적으로 준수 할 수있는 낮은 잔류 설계가 있습니다. 전반적으로 CANON PLA-501 FA는 마이크로 및 나노 스케일 장치의 대량 생산을위한 훌륭한 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 비용, 성능, 정확도에 대한 탁월한 조화를 제공하므로 정밀 부품을 경제적으로 생산할 수 있습니다.