판매용 중고 CANON PLA 501 F #66342

CANON PLA 501 F는 사진 식도 반도체 장치에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 그것은 +/-1.0zm 이상의 photoresist 패턴 정밀도를 달성하고 DUV, NUV 및 i-line 저항을 처리하도록 설계되었습니다. 신뢰성이 뛰어난 이 정밀 조정기는 다양한 반도체 장치를 위한 고해상도 (high resolution) 와 통합 기능을 제공합니다. CANON PLA-501F의 낮은 온도 범위는 섭씨 -20 ~ + 350 도이며, 이는 온도에 민감한 프로세스에 적합합니다. 정렬기는 레이저 간섭계 (laser interferometer) 와 정밀 진공 웨이퍼 (vacuum wafer) 단계를 사용하여 초미세 정렬 정확도와 빠른 정렬 속도를 지원합니다. 고배율 옵션과 자동 마스크 처리 (Automated Mask Handling) 시스템을 갖춘 실시간 결함 검사 시스템 (내장) 을 사용하여 빠른 마스크 로드 및 언로드를 지원합니다. PLA 501F에는 고급 컴퓨터 사용자 인터페이스 (Advanced Computer User Interface) 와 자동 정렬, 패턴 매끄러움, 시뮬레이션 음영 검사 및 교정 기능을 제공하는 광범위한 내장 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 마스크 정렬기는 AutoCAD DXF, Gerber 및 WSY 파일뿐만 아니라 OPL (Optical Proximity Layout) OPL 및 OPLEX를 포함한 다양한 데이터 형식을 지원합니다. 가장 널리 사용되는 photolithography 시스템과 호환되는 PLA 501 F는 다양한 생산 프로세스에 대한 뛰어난 정렬 정밀도를 제공합니다. CANON PLA 501F는 처리량이 높아 소규모 및 대규모 생산에 적합합니다. TCO (총소유비용) 는 최소한으로 유지보수 및 전력 소모가 적습니다. PLA-501F 는 다양한 액세서리 (accessory) 를 제공하므로 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 프로세스에 사용할 수 있으므로 시스템의 활용성과 프로세스 최적화를 높일 수 있습니다. CANON PLA 501 F는 유연성, 정확성 및 효율성을 위해 설계되었습니다. 정밀도 (precision alignment) 와 결합된 견고한 디자인과 신뢰성을 통해 사진 (photolithography) 프로세스에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다. 다양한 기능과 프로세스 기능을 갖춘 CANON PLA-501F 는 비용 효율적인 패키지의 정확한 결과를 보장하는 업계 최고의 마스크 정렬기 (mask aligner) 입니다.