판매용 중고 CANON PLA 501 F #293615023
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ID: 293615023
웨이퍼 크기: 3"-4"
Mask aligner, 3"-4"
Spare parts
USHIO Power supply for the lamp.
CANON PLA 501 F는 FET (Semiconductor Field Effect Transistor) 를 포함하여 다양한 기판으로 미세 패턴을 옮길 수 있도록 설계된 고정밀 마스크 정렬기입니다. 이 고급 마스크 정렬기는 특히 인쇄 회로 기판, 콘택트 코팅, 인스턴트 접착제 등과 같은 photolithography 응용 프로그램에 적합합니다. 캐논 플라 -501F (CANON PLA-501F) 는 강력한 동력 단계를 자랑하며, 이는 매우 정밀하고 반복성으로 X 방향과 Y 방향으로 움직일 수 있습니다. 이 단계를 통해 사용자는 기판 (substrate) 을 이전보다 더 빠르고 정확하게 이동할 수 있습니다. CANON 마스크 정렬기의 노출 시스템도 고도로 발전되었으며 2 개의 다른 UV 광원을 특징으로합니다. 조명 광원은 365nm의 파장을 가진 할로겐 램프와 할로겐 사각형 램프로 구성되어 있습니다. 이렇게 하면 광도가 패턴 전송에 최적화됩니다. 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 또한 fiducial 정렬 시스템을 사용하여 기판과 마스크를 높은 반복성으로 정확하게 정렬 할 수 있습니다. PLA 501F는 최고의 포지셔닝 정확성과 해상도를 제공합니다. 25 미크론 (micron) 피쳐 이하의 기질을 패턴화할 때 ± 0.7 미크론의 위치 정확도를 달성 할 수 있습니다. "패턴 '의 두 점 사이 의 거리 는 매우 정밀 한" ± 2.0 미크론' 으로 재현 될 수 도 있다. CANON PLA 501F에는 주변 습도 게이지, 오존 및 기타 휘발성 유기 화합물 (VOC) 을 공중에서 제거하는 필터, 비상 정지 스위치 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한 인체 공학적 설계로 운영 및 유지 보수가 쉽습니다. 결론적으로, PLA 501 F (PLA 501 F) 는 높은 충실도 패턴을 광범위한 기판으로 정확하고 효율적으로 옮길 수있는 고급 마스크 정렬 자입니다. 고급 기능으로 정밀 사진 다이어그래피 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.
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