판매용 중고 CANON PLA 501 F #293604248

CANON PLA 501 F는 IC 제조에 사용되는 사진 마스크 생산을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 유연한 정렬 자동 메커니즘 (Alignment Auto Mechanism) 과 세 가지 포지셔닝 방법을 갖춘 고해상도 이미지 입력 장비를 갖추고 있습니다. 원하는 마스크 패턴은 레티클 (reticle) 에 직접 그려지고 마스크 정렬자 (mask aligner) 가 읽습니다. 그런 다음 레티클 해상도의 3 배에 동일한 패턴의 사진 마스크를 생성합니다. 정렬자는 최대 크기가 600mm, 최소 선 너비가 0.1 m인 내부 또는 외부 레이어 사진 마스크를 생성 할 수 있습니다. 이 정렬은 선형 안내 메커니즘과 고밀도 스테퍼 모터 시스템 (stepper motor system) 에 의해 지원됩니다. 최대해상도 (최대 해상도) 는 4hm, 정확도 (정확도) 는 0.5jm, 정렬 속도는 100jm/sec입니다. 유연한 정렬 자동 메커니즘은 장치의 마스크 간 정렬 정밀도와 마스크 전송 (mask transfer) 수율을 향상시킵니다. 이 장치는 내부 정렬 격자 (internal alignment grid) 를 사용하며, 이 격자선은 저항 이미지와 일치하도록 조정할 수 있습니다. 이 격자 는 마스크 를 "웨이퍼 '위 에 정확 하게 배치 하는 데 사용 되며, 정확도 는 40" 미터' 이다. 고해상도 이미지 입력기 (High Resolution Image Input Machine) 는 사진 마스크의 마스크 레이어를 읽는 데 사용되며, 최대 이미지 읽기 용량은 30 µm입니다. 이 도구는 수동 입력 및 출력을 지원하며 통신 인터페이스를 통해 자동화되었습니다. 통신 인터페이스는 작업 데이터의 교환과 마스크 아트웍의 DSTEP/APPL 형식을 지원합니다. 이 장치는 200mm 및 300mm 웨이퍼 플랫폼을 지원할 수 있으며, 유연성이 높으며, 쉽게 구성, 조정 및 유지 관리할 수 있습니다. 인터페이스 소프트웨어는 사용하기 쉽고 완전한 작업 관리를 제공합니다. 이 장치는 프런트 엔드 (front-end) 및 백엔드 (back-end) 를 포함한 광범위한 생산 프로세스를 지원할 수 있으므로 IC 제조, 포토 마스크 생산 또는 반도체 장치 수리 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.