판매용 중고 CANON PLA 500F #131142

ID: 131142
Mask aligner.
CANON PLA 500F는 연구 기관 및 생산 라인을 위해 설계된 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. photolithography, thin-film deposition, etching, pattern recognition 및 thin-film 정렬을 포함한 다양한 웨이퍼 응용 프로그램에 사용됩니다. PLA 500F의 주요 구성 요소는 Control Console, Exposure Unit, Exposure Unit 2, Assign Handler 및 Support Unit입니다. 컨트롤 콘솔 (Control Console) 에는 대형 그래픽 컬러 디스플레이가 장착되어 있으며, 장비 제어를 위한 다양한 옵션과 기능을 제공합니다. 간편한 제어 및 사용을 위한 사용자에게 친숙한 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 노출 장치에는 0을 제공 할 수있는 6 인치 dia 스테퍼 모터가 장착되어 있습니다. 25 m 단계 해상도. 노출 장치 2 (Exposure Unit 2) 는 더 좁은 처리 도메인을 위해 설계된 고속 박막 증착 장치입니다. 16 인치 디아 스테퍼 모터는 0.03äm의 향상된 해상도를 허용합니다. Assign Handler는 Exposure Unit 및 Exposure Unit 2와 Control Console을 연결하는 완전 자동 스위칭 장치입니다. 박막 (thin-film) 패턴을 웨이퍼 서피스로 정렬하고 전송하는 데 사용됩니다. 지원 장치 (Support Unit) 는 스텝 모터 구동 기계 장치로, 컴퓨터의 처리 영역에 수동으로 웨이퍼를 선택, 배치할 수 있습니다. CANON PLA 500F는 다양한 박막 및 저항 유형과 호환되며 최대 150mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 최첨단 패턴 인식 소프트웨어 (State-of-the-art pattern recognition software) 를 통해 시스템에서 박막 패턴을 기판으로 정확하게 정렬하고 전송할 수 있습니다. 또한 상호 교환 가능한 필터를 사용할 수 있으며, 이 필터는 다양한 박막 두께를 제공합니다. 높은 정확도와 더불어, PLA 500F 는 빠른 처리 시간 (turn-around time) 을 가지며 유지 보수가 적도록 설계되었습니다. CANON PLA 500F는 사용자 친화적이며 안정적이며 매우 정확합니다. 사용하기 쉬운 기능과 설정이 포함된 간단한 터치 스크린 인터페이스가 특징입니다. 이렇게 하면 사용자가 전체 시스템을 신속하게 설정하고 제어할 수 있습니다. PLA 500F 는 매우 다양하며, 대부분의 운영 및 연구 요건을 충족하는 다양한 옵션을 제공합니다. 높은 정확도와 신뢰성을 바탕으로 모든 Wafer Processing 애플리케이션을 선택할 수 있습니다.
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