판매용 중고 CANON PLA 500 Series #9007956

CANON PLA 500 Series Mask Aligners는 ULSI (Ultra-Scale Integration) 및 고급 패키징 프로세스와 같은 정밀 사진 분석 응용 프로그램을 위해 안정적이고 비용 효율적인 마스크 정렬기를 제공합니다. PLA 500 시리즈는 OTFT (Organic Thin Film Transistor) 및 3D 통합과 같은 다양한 제조 프로세스에 적합하며 폴리머, 실리콘 및 유리를 포함한 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. CANON PLA 500 Series Mask Aligners는 표준 및 사용자 정의 기판 크기를 모두 수용할 수있는 닫힌 프레임 디자인을 특징으로합니다. 1 미크론 미만의 스팟 크기로 탁월한 정렬 정확도를 제공 할 수 있습니다. 또한 이 기계에는 사전 정렬을 수행하는 정렬 센서 시스템 (Alignment Sensor System) 과 정렬 정확도를 위해 두 축을 미세 정렬 (Fine Alignment) 할 수 있습니다. 또한 PLA 500 시리즈에는 각 마스크 및 기판에서 정확한 좌표를 확인할 수있는 전용 이미지 정렬 장치 (Image Alignment Unit) 가 포함되어 있습니다. 사용자에게 친숙한 LCD 터치 패널은 자세한 매개 변수 설정과 편리한 사용자 인터페이스를 제공합니다. CANON PLA 500 Series Mask Aligners는 스테퍼 개선 작업, OLC (Original Layer Compensation) 및 LSM (Layer Shift Manipulation) 과 같은 고정밀 사진 분석 프로세스에 필요한 제어 환경을 제공합니다. 또한, PLA 500 시리즈에는 고급 내장 메탄 하우스 (Methane House) 기능이 포함되어 있어 처리 시간을 단축하고 레이어를 정밀하게 정렬할 수 있습니다. CANON PLA 500 시리즈의 노출 부분은 100 밀리미터 두께의 기판에 양성 (positive) 및 음성 (negative) 과 같은 다양한 유형의 마스크를 허용하도록 구성 될 수 있습니다. PLA 500 시리즈에는 향상된 처리량을 위해 통합 에너지 절약 APC (ESAPC) 및 자동 플레이트 노출 트리밍 (APT) 과 같은 빠른 노출 프로세스가 장착되어 있습니다. 또한, 기계는 플랫 칩, 스택 및 라미네이트 된 기판을 포함한 다양한 기판에 특화된 지그 (jig) 및 커스텀 홀더 (custom holder) 를 수락 할 수 있습니다. 통합 된 정신 VAE 챔버와 직접 부품 읽기를위한 고속 데이터 포트를 갖추고 있습니다. 사용자에게 친숙한 소프트웨어 인터페이스를 통해 사용자는 필요에 따라 노출 시간 (Exposure Time) 과 정렬 속도 (Alignment Rate) 를 조정할 수 있습니다. CANON PLA 500 Series Mask Aligner에는 고급 안전 기능도 있습니다. 여기에는 무단 유지 보수 중 노출이 방지되는 연동 시스템 (Interlock System) 과 안전한 접지 (Ground Level) 를 보장하는 입력 격리 시스템 (Input Isolation System) 이 포함됩니다. 다른 안전 기능에는 비상 정지 버튼 및 내장 광학 및 정전기 차폐가 포함됩니다. 전체적으로, PLA 500 시리즈는 생산 사진 촬영 프로세스에 비용 효율적이고, 안정적이며, 매우 정밀한 솔루션으로, 뛰어난 정렬 정확도, 고속 노출 프로세스 및 다양한 안전 기능을 제공합니다.