판매용 중고 CANON PLA 500 FA #9003214

ID: 9003214
Mask aligner.
CANON PLA 500 FA는 전자 장치, 특히 집적 회로 및 인쇄 회로 보드의 제작에 사용되는 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 전용 옵틱, 강력한 선형 스테이지 (linear stage), 미세 피치 사진 해설을 가능한 한 자동적이고 정확하게 처리하도록 설계된 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 제품은 사용자 입력을 최소화하면서 가장 정확하고, 가장 정확한 결과만 달성하도록 설계되었습니다 (영문). 장비의 고출력 레이저 스캐닝 단계 (High-Power Laser Scanning Stage) 는 마스크에서 컴포넌트의 정확한 이미지를 생성하며, 이 이미지를 스캔하여 웨이퍼 (Wafer) 또는 기판으로 전송합니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 의 기능을 인식하기 위해 광학 이미징 기술을 사용하며, 정렬 장치 (Alignment Unit) 는 강력한 3축 단계를 사용하여 마스크 및 기판을 정확하게 정렬합니다. 컴퓨터 소프트웨어는 기계를 제어하고 리소그래피, 노출, 웨이퍼 검사 등의 복잡한 작업을 수행합니다. 소프트웨어를 사용하여 설정 (setting) 과 매개변수 (parameter) 를 저장할 수도 있으며, 모든 설정을 원격 인쇄 및 최적화할 수도 있습니다. CANON PLA 500FA의 정확도, 속도 및 반복성은 일치하지 않습니다. 설계는 최소 50 나노 미터/공간, 최소 1 미크론의 기능 크기를 달성 할 수 있으며, 최대 오버레이는 80 나노 미터입니다. 최고 속도로, 기계는 600 웨이퍼/시간의 처리량에 도달 할 수 있습니다. PLA 500 FA는 워크 호스 (workhorse) 정렬기로, 일관된 고품질 이미지와 고수율 결과를 제공하면서 사용자의 상호 작용을 최소화해야 합니다. 이는 '신뢰성' 과 '최고 정확도' 를 필요로 하는 모든 제조업체에 이상적인 선택입니다. 이 기계는 그 특징과 견고한 성능으로 미루어 볼 때, 기기 (device makers) 에서 널리 사용되는 선택일 것입니다.
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