판매용 중고 CANON PLA 500 FA #163550

ID: 163550
Parallel light mask aligner.
CANON PLA 500 FA는 속도, 정확성, 유연성 및 신뢰성을 위해 설계된 고성능 자동 마스크 정렬 장치입니다. 이 기계는 실리콘, 유리, 티타늄 등 다양한 기판을 영상 할 수 있습니다. CANON PLA 500FA는 3D 정렬, 고해상도 이미징, 정밀한 이미징 제어의 조합으로 대용량 photomask 생산 프로세스를 자동화하는 프로덕션 수준의 처리량을 제공합니다. PLA 500 FA는 주 섀시, 레이저 스캐너, 이미지 프로세서, 4 개의 고해상도 정렬 카메라, 정렬 참조 테이블 및 1 쌍의 고속 서보 모터와 같은 여러 핵심 구성 요소로 구성됩니다. 레이저 스캐너 (Laser scanner) 는 기판의 고해상도 이미지를 캡처하는 데 사용되므로 대상 기판과의 포토 마스크 (photomask) 를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 네 개의 정렬 카메라는 기판 및 포토 마스크 (photomask) 의 3D 이미지를 생성하며, 이를 통해 정렬기 (aligner) 의 컴포넌트를 정확하게 자동으로 정렬할 수 있습니다. 참조 테이블을 사용하면 각 스캔에 대해 정렬자 (aligner) 의 컴포넌트를 정확하게 배치할 수 있습니다. 마지막으로, 2 개의 고속 서보 모터는 기판 및 마스크 위치를 위해 정확하고 자동화된 동작을 제공합니다. 이러한 구성 요소를 사용하여 PLA 500FA에는 수동 및 자동이라는 두 가지 주요 작동 모드가 있습니다. 수동 모드에서 사용자는 기판 및 photomask 위치를 수동으로 제어하고 조정할 수 있습니다. 이 모드를 사용하면 정밀 이미징 및 정밀 치수 정밀도를 위해 기판 및 마스크 정렬을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 자동 (automatic) 모드에서 기계는 정렬 카메라와 다른 컴포넌트를 사용하여 사용자 개입 없이 기판과 포토 마스크 (photomask) 를 배치하고 정렬합니다. 또한 CANON PLA 500 FA에는 스캔 크기, 레이저 조도 및 마스크 포커스와 같은 다양한 사용자 조정 가능한 설정이 있습니다. CANON PLA 500FA는 최고 표준으로 설계 및 제조됩니다. 레이저 스캐너 (Laser Scanner), 이미지 프로세서 (Image Processor), 정렬 카메라 (Alignment Camera) 와 같은 기계의 부품은 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 재료로 제조되어 장기적으로 사용할 수 있도록 정확성과 정확성을 보장합니다. 성능은 일관성 있고 처리량은 높아서 다양한 대용량 (high-volume) 생산 프로세스에 대한 포토 마스크 (photomask) 및 기판 이미징을 위한 훌륭한 옵션입니다.
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