판매용 중고 CANON MPA-7500 #293755831

CANON MPA 7500 Mask Aligner는 photolithographic 응용 프로그램에 사용되는 photomask의 정렬, 노출 및 개발을 위해 특별히 설계된 장치입니다. 마스크 정렬 (Mask Aligner) 은 다양한 기능을 사용하여 높은 정확도와 작동 속도를 제공합니다. 마스크 알리너 (Mask Aligner) 에는 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 과 모터 구동 조정 장비가 장착되어 있어 마스크 및 웨이퍼를 매우 정확도 (0.001mm) 로 정렬할 수 있습니다. 또한 마스크 알리너 (Mask Aligner) 에는 마스크 웨이퍼 페어 (mask-wafer pair) 의 정렬을 이미징하고 잘못된 정렬을 수정할 수있는 디지털 카메라가 장착되어 있습니다. MPA 7500은 또한 일관된 품질의 포토 마스크 제작을위한 CDRH-4 노출 장치를 갖추고 있습니다. 이 노출 장치는 X-Y 단계에 의해 구동되며 1.5 이상의 광학 밀도로 마스크를 생성 할 수 있으며, 반복 가능한 노출과 이상적인 CD 균일성을 제공합니다. X-Y 단계는 또한 모터 구동 정렬 시스템과 통합되어 더 세밀한 조정 및 나노 미터 수준의 정렬 정확도를 허용합니다. CANON MPA 7500은 또한 CD-SEM 및 Wafer Mapping과 같은 다양한 유형의 노출 후 측정 시스템을 제공하여 정확한 노출 후 진단을 허용합니다. 또한 "마스크 알리그너 '는 안전" 셔터' 장치 와 자동적 으로 조종 된 "오존 '여과기 를 포함 하여 인상적 인 여러 가지 안전 기능 을 갖추었는데, 이것 은" 오존' 이 장치 의 탈피 를 막아 사용자 의 안전 을 보장 해 준다. 요약하면, MPA 7500 Mask Aligner는 탁월한 정확도와 속도로 복잡한 photomask 제작에 적합한 장치입니다. 그 특유의 특징과 인상적인 안전 기능으로 인해 정밀 석판화 응용 프로그램 (precision lithographic application) 에 이상적인 선택이되었습니다.