판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9236511

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ID: 9236511
빈티지: 1990
Mask aligner Standard pre-align, 6" Wafer chucks, 6" Mask holder, 7" Accurate slit: 1.6 mm CCD Camera included 1990 vintage.
캐논 MPA 600 슈퍼 (CANON MPA 600 Super) 는 해당 기판으로 마스크를 정렬하는 데 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 기계는 패턴 (pattern) 된 금속 필름을 정확하게 노출하고 전송할 수 있으며, 다양한 전자 및 광학 장치에서 마이크로 (micro) 부품을 제조하는 데 탁월한 성능을 제공합니다. "마스크 '" 타이너' 는 직관적 인 조작 과 설계 로 사용 하고 유지 하기 가 쉽다. CANON MPA600SUPER는 고성능 UV LED 조명 시스템과 듀얼 빔 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 전반적인 성능이 우수하고, 보다 정확하게 조정할 수 있습니다. 스캐닝 및 이미징 시스템은 직경이 최대 8 인치인 넓은 이미징 영역을 가지며 이미징, 스캐닝 및 정렬 목적으로 3 개의 개별 렌즈 세트가있는 2 개의 쿼츠 렌즈를 사용합니다. 이렇게 하면 마스크에서 기판으로 이미지를 전송할 때 해상도 (resolution) 와 정확도가 향상됩니다. 기계는 또한 기질이 완벽하게 평평하지 않은 경우에도 기판과 마스크의 정확한 처리를 보장하는 고정밀 척 (high-precision chuck) 을 특징으로합니다. 또한, 기계는 노출 시간, 강도, 방향 등 다양한 노출 매개 변수를 제공합니다. 이렇게 하면 정렬 프로세스 (Alignment Process) 를 보다 정확하게 제어할 수 있으며, 마스크에서 기판으로 이미지를 전송할 때 정밀도가 높아집니다. MPA-600SUPER 에는 자동 프로그래밍, 자동 마스크 정렬, 최대 8 개의 사전 프로그래밍 정렬 패턴 저장을 위한 메모리 등 다양한 추가 기능도 포함되어 있습니다. 따라서 보다 효율적인 작업을 수행할 수 있으며, 보다 복잡한 조정 작업을 위한 자동화된 솔루션을 제공합니다. 또한, 이 기계는 디지털 현미경 (digital microscope) 을 사용하여 실시간으로 정렬을 모니터링하는 기능을 제공합니다. 이를 통해 보다 정확하게 정렬할 수 있으며 연산자 오류를 줄일 수 있습니다. 전반적으로 MPA600SUPER는 마스크 정렬 및 이미지 전송 작업에 탁월한 성능과 정확도를 제공합니다. 직관적인 설계 및 운영 (design and operation) 을 통해 비교적 쉽게 사용 및 유지 관리할 수 있으며, 추가 기능을 통해 정렬 프로세스에 대한 자동화와 향상된 제어를 제공합니다. 따라서, 이 마스크 정렬기는 마스크 (mask) 에서 기판 (기판) 으로 마이크로 스케일 패턴을 전달하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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