판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9190612

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CANON MPA 600 Super
판매
ID: 9190612
Mask aligner.
캐논 MPA 600 슈퍼 (CANON MPA 600 Super) 는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 포토 esist 패턴화에 사용되는 작고 정밀도가 높은 노출 도구입니다. 자외선 리소그래피 (UV lithography), 고가로 비율 (High-aspect-ratio photoresist) 패턴 또는 우수한 패턴 정확도가 필요한 다른 단파 (short-wavelength) 기술과 같은 미세 전자 제작 프로세스에 사용할 수 있습니다. 캐논 MPA600SUPER (CANON MPA600SUPER) 의 주요 기능은 고정밀 마스크 정렬기로, 반복 가능한 결과와 함께 정확한 노출 정확도를 일관되게 제공 할 수 있습니다. 마스크 정렬자가 달성 한 나노 레벨 정확도 (nano-level accuracy) 는 우수한 평면도와 노출 선형성을 보장합니다. MPA-600SUPER는 또한 강력한 노출 엔진 (고급 노출 제어) 과 다양한 가변 매개변수 (variable parameter) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 균일 한 노출과 노출 매개 변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 다양한 조명 요구 사항에 대한 정밀 노출이 가능한 UV 필터 및 감쇠 장치 (attenuator) 가 포함되어 있습니다. 내장 OHPL (Open Helios Programming Language) 소프트웨어는 MPA600SUPER의 여러 유용한 고급 기능에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 직관적 인 구문과 정렬 자 (aligner) 와의 긴밀한 통합을 통해 OHPL은 사용자가 가장 까다로운 요구를 충족시키기 위해 자동 노출 레시피를 빠르게 개발할 수 있도록 합니다. 또한 Aligner 에는 내부 메모리 관리자 (Internal Memory Manager) 가 포함되어 있어 여러 노출 레시피를 신속하게 저장할 수 있습니다. 캐논 MPA-600SUPER (CANON MPA-600SUPER) 는 또한 운영자의 안전을 보장하고 시스템 성능을 최적화할 수 있도록 설계된 다양한 통합 안전 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 안전 연동 스위치, 레이저 광 모듈, 정적 차폐 (Anti-Static Shield) 및 키 잠금 스위치가 포함됩니다. 이 모든 안전 (safety) 기능은 기계의 자체 진단 기능과 함께 안전하고 안정적인 작업 환경을 제공합니다. 전반적으로 MPA-600 SUPER는 신뢰성이 높고 사용자 친화적이며 정확한 마스크 정렬 장치입니다. 첨단 기능 과 견고 한 안전 기능 을 지닌 이 "얼라이너 '는" 마이크로일렉트로닉' 을 제조 하는 데 이상적 인 도구 이다.
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