판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9057709

CANON MPA 600 Super는 전문가를 위해 설계된 라인 마스크 정렬기의 상단입니다. 포토리토그래피 (photolithography) 와 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 패키징 기술 분야에서 광범위한 기능을 제공합니다. 이 기계는 다양한 패턴과 두께로 다양한 마스크를 처리 할 수 있으며, 크기는 200mm 웨이퍼 (wafer) 의 최대 1/3입니다. CANON MPA600SUPER 에는 3 축, 8 존, 단면 광 장비가 장착되어 있으며, 와퍼에 정렬 표시와 장치 기능이 정확하게 정렬되어 있습니다. "시스템 '의 설계 는 초점 을 맞추는 여러 가지 부면 으로 거대 한" 필드' 주사 를 할 수 있게 하여 "웨이퍼 '위 에 여러 번 통과 할 필요 가 없게 하였다. 또한, 장치에는 wafer의 마스크를 정확하게 정렬하는 데 사용되는 정렬 표시 (alignment mark detector) 가 내장되어 있습니다. 이 기계는 처리량이 많은 작업을 위해 설계되었으며 시간당 최대 3000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 PID 컨트롤러뿐만 아니라 최첨단 디지털 신호 프로세서 (state-of-the art digital signal processor) 를 갖추고 있어 정확하고 일관된 프로세스 제어를 보장합니다. 또한 특허를 획득한 RF 임피던스 매칭 기술을 활용하여 매우 정확하게 정렬할 수 있습니다. 기능 측면에서 MPA-600SUPER는 포괄적인 목록을 제공합니다. 1 ° m 자동 단계 크기를 제공합니다. 모든 영역에서 균일 한 조사를위한 3- 구역 투영 렌즈; 수동 정렬을 단순화하는 초점 찾기 기능; 미세 튜닝을위한 광학 디포커스 제어 조정. 또한 자동 조정 레이저 (auto-tune laser) 가 장착되어 있으며, 이 레이저는 초점 레이저 및 스팟 크기의 최적의 강도에 맞게 자동으로 조정됩니다. 게다가, 공구에는 자동화된 웨이퍼 리프터 (wafer lifter) 가 있어 사용자가 쉽게 웨이퍼를 제거하고 정렬 챔버에서 로드할 수 있습니다. 또한, 노출을위한 정확한 펄스 제어를 위해 통합 UV 다이오드 레이저가 있습니다. 전반적으로 MPA600SUPER는 전문가를 위해 설계된 라인 마스크 정렬기의 상단입니다. 고급 기술과 사용하기 쉬운 기능을 결합하여 다양한 어플리케이션에서 고품질/정확한 웨이퍼/마스크 처리를 지원합니다 (영문). 특허를 획득한 자산의 RF 임피던스 매칭 기술 (Impedance Matching Technology) 과 최첨단 디지털 신호 프로세서 (State-of-Art Digital Signal Processor) 를 활용하여 높은 처리량 운영을 위한 빠르고 일관성 있고 안정적인 성능을 제공합니다.