판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9055549

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ID: 9055549
Mask aligner 2004 vintage.
캐논 MPA 600 슈퍼 (CANON MPA 600 Super) 는 반도체 및 관련 산업의 고정밀 사진 해설을 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 고해상도 미세 구조를 만드는 데 사용되며, 많은 생산 공정에서 중요한 부분입니다. 이 장비는 고급 4 사분면 마스크 기능을 사용하여 뛰어난 정렬 정확도와 높은 생산성을 제공합니다. CANON MPA600SUPER는 독립적이고 고정밀 정렬 시스템 및 고속 알고리즘으로 구동됩니다. 2도 자유 정렬 장치 (Freedom Alignment Unit) 를 제공하여 비대칭 패턴 (Asymmetric Pattern) 이나 다른 격자 크기에서도 마스크와 웨이퍼의 높은 정확도를 정렬할 수 있습니다. 이 기계는 또한 매우 작은 정렬 대상에 대한 sub-micron photomask 크기 감지 기능을 갖추고 있습니다. MPA-600SUPER의 진공 척 (vacuum chuck) 은 대형 기판을 처리 할 때에도 뛰어난 기판 보유 기능과 뛰어난 평탄성을 제공합니다. 이 도구의 고성능 프로젝션 옵틱 및 레이저 지원 패턴 정렬은 저렴한, 고정밀 노출을 제공합니다. 이 자산은 또한 자동화된 정렬 및 노출 제어 (Exposure Control) 기능을 제공하여 복잡한 패턴을 보다 쉽고 효율적으로 처리할 수 있습니다. CANON MPA-600SUPER에는 여러 가지 안전 및 환경 기능도 있습니다. 레이저 안전 인터 록 (Laser Safety Interlock) 모델이 내장되어 있어 위험한 파장에 대한 우발적 노출이 방지됩니다. 공기 흐름 센서 (air flow sensor) 는 또한 장치 주변의 대기 질을 모니터링하고 안전하지 않은 상태가 감지되면 장비를 종료합니다. 마지막으로 CANON MPA-600 SUPER는 매우 신뢰할 수있는 시스템입니다. 고급 장애 감지 (fault detection) 및 자동 복구 기능은 효율적이고 장기적인 운영을 보장합니다. 이 장치는 견고한 설계 및 사용자 친화적 기능으로 인해 유지 보수 비용이 저렴합니다. 또한 CANON은 모든 제품을 포괄적으로 지원합니다. 전반적으로 MPA600SUPER는 높은 정확도와 안정성을 지닌 고급 마스크 정렬기입니다. 정교한 정렬기 (Alignment Machine) 와 안전 (Safety) 기능을 통해 고도의 정밀 사진 해설이 필요한 생산 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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