판매용 중고 CANON MPA 600 Super #9033449
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판매
ID: 9033449
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligners, 6"
Specifications:
Exposure performance:
Exposure field: R 95 mm
Resolution: ≤ 1.4 um
Exposure wavelength: 365 nm i-line, 405 nm h-line, 436 nm g-line
Reduction ratio: x1
DOF: ± 6 um (1.5 um line and space)
Illuminator:
Light source: 2.0 kW Super high pressure mercury lamp
Intensity: 550 ± 50 mW
Uniformity: ± ≤ 3%
Wafer alignment:
Alignment light source: He-Ne laser (633 nm)
Alignment system: HE-NE TV AA
Auto PDC
Alignment accuracy: LBS-AA ≤ 0.54 um; TV-AA ≤ 0.40 um
Scanning mechanism:
Scan drive unit: Scanning the carriage unit by linear motor drive
Scan range: 4", 5", 6"
Scanning speed: 4.0 - 150.0 sec (31.3 mm/sec to 0.83 mm/sec)
Focus error: Arc focus less
Alignment scope:
Viewing scope light resource: Halogen lamp
Erector lens:
Viewing lens: Auto moving
Erector: 1x, 2x, 5x
Mechanical pre-alignment:
Pre-alignment accuracy: ≤ 60 um.
CANON MPA 600 Super는 파인 라인 패턴을 제작하는 동안 8 인치, 12 인치 및 13 인치 둘레 마스크의 생산을 위해 설계된 전동 마스크 정렬 자입니다. 그것 은 "레이저 '자동 초점 장치 를 이용 하여" 마스크' 와 "웨이퍼 '기판 을 정확 하게 맞추고, 중첩 정확도 를 위하여 고급 전동 단계 조절 장치 를 이용 한다. CANON MPA600SUPER는 최소 선 너비 0.25 미크론, 간격 0.2 미크론으로 마스크를 생성 할 수 있습니다. 마스크 정렬기는 레이저 라인이 높거나 낮아진 쿼드 레이저 래스터 (quad laser raster) 를 포함하는 조절 가능한 6 레이저 빔 배열기를 사용하는 신뢰할 수있는 노출 이미징 장치를 가지고 있습니다. 레이저 래스터 (Laser Raster) 는 동력 단계 이동을 정확하게 조정하여 비반사 머시닝 환경을 제공하여 이미지의 고품질 패턴화를 보장합니다. 공정 제어 노출 시스템 (process-controlled exposure machine) 은 사용자가 작업에 맞게 노출 압력과 단계 크기를 빠르게 선택할 수 있도록 하여 전체 마스크 프로세스를 단순화합니다. MPA-600SUPER 에는 사용자에게 포괄적인 정렬 정보를 제공하는 정렬 모니터 (Alignment Monitor) 디스플레이도 있습니다. 그것 은 "스테이지 '의" 조이스틱' 조절 을 포함 하여 "마스크 '와 기판 을 편리 하고 정확 하게 배치 할 수 있다. 또한 대형 19형 컬러 모니터 (19인치 컬러 모니터) 를 사용하면 더 세밀한 디스플레이를 통해 정렬 과정을 더 자세히 볼 수 있습니다. 이 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 비접촉 다이렉트 드라이브 인코더를 사용하여 기존의 자동 초점 시스템과 관련된 시간과 비용을 줄이는 스캔 도구를 갖추고 있습니다. 스텝 모터 제어 (step motor control) 는 스테이지 동작 중 정확도를 제공하며 레이저 래스터를 조정하는 동안 높은 정밀 등록이 가능합니다. MPA-600 SUPER 에는 운영 중 사용자와 장비를 보호하기 위해 설계된 일련의 안전 (내장) 기능이 있습니다. 직업안전보장부 (KTO) 가 정비되지 않은 경우 레이저의 작동을 막는 연동자산뿐 아니라 비상정지 (Emergency Stop) 버튼 (가동 중지) 도 포함된다. 전반적으로 CANON MPA-600 SUPER는 고정밀 패턴 생산을 위해 설계된 완전 기능의 전동 마스크 정렬 자입니다. 이들의 구성요소는 정밀도 (Positioning Accuracy) 와 노출 (Exposure) 을 가능하게 하며, 다양한 안전 기능은 사용자와 장비를 보호합니다. 결과적으로, 마스크 정렬기는 mm, cm 및 sub-micron 응용 프로그램의 범위에 적합합니다.
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