판매용 중고 CANON MPA 600 Super #293628289
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CANON MPA 600 Super는 microelectromchanical system (MEMS), 패키징 및 PCB (Printed Circuit Board) 제작과 같은 다양한 기술에 적합한 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 고급 광 투영 (optical projection) 기술을 활용하여 높은 등록 정밀도를 정확하게 조정하고 얻습니다. 두 가지 방향으로 제작 할 수 있으며, 최대 600mm x 610mm의 영역 크기를 인식 할 수 있습니다. 기계 의 광학 투사 장치 에는 반전 된 굴절용 빔 "스플리터 '가 포함 되어 있어서, 포물선" 미러' 를 통하여 인쇄 영역 으로 빛 이 들어온다. 빛 은 "피두시얼 '판 에 투영 된 다음," 마스크' 의 본 에 투영 되어 정밀 한 정렬 과 초고해상도 를 제공 한다. 패턴은 강성 (rigid) 프레임으로 만들어지며, 이 프레임은 수직 (vertical) 또는 수평 (horizontal) 방향으로 공구 작동을 가능하게 합니다. 기계의 작동은 듀얼 모터 CCD 카메라, 정밀 스캔 장치 및 상업용 등급 광학 기계를 포함하는 고속, 고정밀 스캔 시스템 (High-Precision Scan System) 에서 지원됩니다. 스캔 도구를 사용하면 마스크 알루미늄 표면의 표면 지형, 정렬 (aligner) 의 치수, fiducial 표시의 이동 방지 정확도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치에는 수동, 반자동, 자동을 포함한 세 가지 기본 작동 모드가 있습니다. 수동 모드의 경우, 연산자는 fiducials를 사용하여 마스크 패턴의 위치를 수동으로 조정할 수 있습니다. 반자동 (semi-automatic) 모드는 더 작은 영역의 위치 수정 및 노출을 수행하는 데 사용되며, 자동 (automatic) 모드는 넓은 영역에서 노출을 수행하는 데 사용됩니다. 또한 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 통해 사용자는 직접 데이터를 변환, 입력, 출력할 수 있으며, 다른 장치와 통신할 수도 있습니다. 또한 내장 자산 모니터, 비상 정지 모델 (Emergency Stop Model), 과전류 감지 장비 (Overcurrent Detection Equipment) 및 장치가 안전하게 실행되도록 비상 전원 끄기 시스템이 있습니다. CANON MPA600SUPER 마스크 정렬기는 저용량 및 대용량 구성 작업에 적합한 강력하고 다양한 장치입니다. 첨단 기술은 정확한 포지셔닝과 높은 등록 (registration) 을 보장하므로 사용자가 고품질 제품을 생산할 수 있습니다.
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