판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9280956
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CANON MPA 600 FA는 마스크 정렬 프로세스에 사용하도록 설계된 광 정렬기입니다. 다양한 크기와 모양의 마스크 정렬에서 정확하고 반복적으로 측정 할 수있는 최첨단 (state-of-the-art) 장비입니다. 이 장치는 정확한 광학 플랫폼 (optical platform) 으로 구성되어 있으며, 이 플랫폼은 높은 정밀도로 대상을 추적하고 정렬할 수 있습니다. 이 시스템은 정밀한 정렬을 위해 다양한 서피스와 재료를 처리하도록 설계되었습니다. CANON MPA600FA는 5축 제어 플랫폼을 사용하여 개체 표면에 여러 대상을 정렬합니다. 이를 통해 photomask, stencil, overlay mask, reticles 등과 같은 다양한 정렬 작업의 플랫폼으로 사용할 수 있습니다. 또한 장치의 광시야각 (wide field of view) 을 통해 쉽게 매우 복잡한 정렬 작업을 처리할 수 있습니다. 정확한 정렬을 위해 MPA-600FA에는 여러 가지 고급 기능과 기술이 있습니다. 첫째, 고속 자동 초점 장치 (fast autofocus unit) 가 사용되며, 이는 다른 거리에 위치한 대상을 정확하게 감지하고 정렬 할 수 있습니다. 또한, 동적 이미지 처리 알고리즘은 크기와 형태에 관계없이 대상을 정확하게 식별하는 데 사용됩니다. MPA 600 FA는 또한 내장 자동 교정 모드를 가지고 있으며, 이를 통해 수동으로 재교정할 필요 없이 반복 가능한 정렬이 가능합니다. 이를 통해 기계는 여러 번 사용한 후에도 정밀도를 유지할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 정밀 오류 (potential error) 를 감지할 수 있는 정교한 오류 진단 (error diagnostics) 기능이 포함되어 있어 신속하고 정확한 문제 해결 및 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 결국, MPA600-FA는 다양한 크기와 모양의 마스크를 정확하고 반복적으로 정렬하도록 설계된 고급 광 (Advanced) 정렬기입니다. 정교한 이미지 처리 알고리즘과 자동 초점 (autofocus) 도구를 사용하여 정확하고 반복 가능한 정렬을 제공합니다. 또한 자동 조정 (Auto Calibration), 오류 진단 (Error Diagnostics) 및 넓은 뷰 (Field Of View) 가 포함되어 있어 가장 복잡한 정렬 작업을 손쉽게 처리할 수 있습니다.
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