판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9250757

CANON MPA 600 FA는 전자 빔 리소그래피에 대한 고급 기능을 제공하는 CANON의 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 장치는 다양한 기판에 균일 한 패턴의 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 을 달성 할 수 있습니다. 전동식 xyz 스테이지가 장착 된 고정밀 스캐닝 전자 현미경 (high-precision scanning electron microscope) 을 특징으로하여 개발 된 마스크의 각 레이어에 대해 뛰어난 접촉 정렬 및 낮은 왜곡을 제공합니다. 소프트웨어 장비에는 사용자 정의 레이아웃 (layout) 설계를 위한 사용하기 쉬운 인터페이스가 포함되어 있으며, 마스크를 정확하게 정렬할 수 있는 다양한 도구를 제공합니다. 이 시스템은 다양한 필름 및 저항재 (resist materials) 와 호환되며 고밀도 패턴화를 위해 0.5 m까지 해상도를 갖습니다. 또한 장치 테스트 및 확인을 위한 다양한 기능 (예: 자동 튜닝 웨이퍼 스테이지, 자동 포토 스탠스 모니터) 이 제공됩니다. 국자 위 의 긴장, "웨이퍼 '탐사선 의 설치, 그리고" 레이저' 서기관 의 기준선 들 을 모두 자동 조정 하여 정확 한 "마스크 '정렬 을 할 수 있다. 또한, 챔버 내의 높은 진공 환경 (high vacuum environment) 은 환경 요인이 전자 빔의 광학 경로에 영향을 미치는 것을 방지합니다. 이 장치는 처리량이 높으며 공장 자동화 시스템 (factory automation machine) 과 쉽게 통합됩니다. 고출력 리소그래피 (lithography) 가 필요할 때 높은 수율과 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 최대 8 인치 크기의 기판을 수용 할 수 있으며, 개발 공정의 정확한 단계를 위해 스테퍼 모터 화 단계 (stepper motorized stage) 가 제공됩니다. 전반적으로 CANON MPA600FA는 강력하고 사용자 친화적 인 마스크 정렬기로, 높은 처리량과 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 통해 정확한 패턴을 제공합니다. 유연성과 정확성으로 인해 프로토 타입과 대용량 생산 모두 완벽합니다.