판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9182978

CANON MPA 600 FA 마스크 정렬기는 반도체 및 전자 장치 생산에 사용되는 고해상도 포토 마스크 (photomask) 를 생성하도록 설계된 완전 자동 스테레올리토그래피 머신입니다. 이 기계는 다양한 응용 프로그램에 대한 포토 마스크 (photomask) 의 빠른 제작과 생산 장치 (production device) 의 최고 수율을 달성하기 위해 매우 정확한 마스크를 생성 할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 광학 장비, CNC (Computer Numerical Control) 프로그래밍 및 자동 장면 분석이 있습니다. 캐논 MPA600FA (CANON MPA600FA) 는 다중 축 포지셔닝 시스템이며 동기식 동작 기술을 사용하여 기판에 대한 매우 정확한 마스크 정렬을 수행합니다. 전체 마스크 구성 (Mask Fabrication) 프로세스가 고객의 사양을 준수하도록 하려면 각 마스크를 생성하기 전에 정렬 오류 검사 (Alignment Error Inspection) 를 수행합니다. 이 기계는 또한 마스크 배치 및 사양을 확인하기 위해 비전 정렬 장치 (vision alignment unit) 를 갖추고 있습니다. MPA-600FA의 최고 속도는 시간당 4,000 개, 마스크 크기는 최대 200 x 200mm입니다. 기계의 정렬 정확도는 0.02- m, 초점 깊이는 0.2- 'm입니다. 이 기계는 6 인치 및 8 인치 포토 마스크도 처리 할 수 있습니다. 고속 작동을 위해 동기화 된 공기 쿠션 단계를 사용합니다. 이 기계는 또한 3 차원 정렬을 지원하며 정확한 정렬을 위해 레이저 패턴 인식을 갖추고 있습니다. MPA-600 FA 는 여러 가지 고급 기능을 통합하여 최고의 운영 디바이스 수출을 보장합니다. 이 기계에는 마스크 제작 전후에 마스크 온도를 확인할 수 있는 열 이미징 센서 (내장) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 제작 과정에서 마스크가 왜곡되지 않습니다. 이 기계는 또한 마스크 결함의 존재를 감지 할 수있는 실시간 이미징 머신을 포함합니다. MPA 600 FA는 사용자 친화적으로 설계되었으며, 시스템 프로그래밍 및 제어를 위한 사용자 친화적 인터페이스가 통합되어 있습니다. 이 기계는 직관적인 메뉴와 디스플레이를 특징으로하며 LCD 제어판도 있습니다. 기계에 모든 컴퓨터 오작동을 사용자에게 알리는 경보 도구 (alarm tool) 가 장착되어 있습니다. CANON MPA 600FA 는 최고 품질의 마스크가 가능하도록 설계된 포괄적인 소프트웨어 패키지와 함께 제공됩니다. 사용자는 자동화된 패턴 인식 (pattern recognition) 및 정렬 루틴 (alignment routine) 과 자동 레시피 관리 (automated recipe management) 를 생성할 수 있습니다. 또한 사용자는 기존 마스크 설계를 편집하고 기존 마스크 (mask) 에 대한 통계적 분석 (statistical analysis) 을 쉽게 실행할 수 있습니다. 또한 사용자는 이 소프트웨어를 사용하여 마스크 디자인을 저장, 인쇄 및 e- 메일로 저장할 수 있습니다.