판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9148243

CANON MPA 600 FA는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 고급 기능 (예: 높은 정렬 정확도, 탁월한 처리량, 다양한 처리 기능) 을 갖추고 있습니다. 이 장치 는 "포토마스크 '를 반도체" 웨이퍼' 에 맞추어 복잡 하고 정밀 한 "패턴 '을 제작 하는 데 사용 된다. 캐논 MPA600FA (CANON MPA600FA) 는 공기를 사용하여 포토 마스크 및 웨이퍼를 테이블에서 들어올리는 2 차원 공기 베어링 설계를 특징으로하며, 정확하고 조정 된 방식으로 두 구성 요소를 빠르게 움직이면서 최대 안정성을 보장합니다. 이 2D 공기 베어링 설계는 공정의 정렬 정확도가 매우 높습니다. 선형 정밀도는 서브 미크론 (sub-micron) 범위에서 측정되며, 최소한의 노력으로 정확한 정렬이 가능합니다. 마스크 정렬기에는 스캐닝 레이저 시스템과 매우 민감한 옵틱이 장착되어 있습니다. "레이저 '장치 는 정밀 하게 표적 이 된 광선 을" 포토마스크' 와 "웨이퍼 '에 투영 하여 미세 한" 패턴' 으로도 정확 한 정렬 을 한다. 또한 고급 (advanced) 옵틱을 사용하면 전체 웨이퍼 (wafer) 를 한 번에 볼 수 있으며, 이를 통해 정렬 프로세스의 결과를 포괄적으로 볼 수 있습니다. MPA-600FA 는 초당 최대 600 프레임 (Frame Per Second) 의 속도로 작동할 수 있으며, 칩을 생산할 때 뛰어난 처리량을 제공합니다. 또한, 다양한 필름 및 라미네이트 포토 마스크 (laminate photomask) 와 호환되며, 다양한 패턴과 크기를 정렬 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 기계적 충격 (mechanical shock) 에 대한 높은 저항력을 갖추고 있으므로 다양한 제작 환경에서 사용할 수 있습니다. 마지막으로 MPA 600 FA는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 다양한 분석 도구 (Post-Alignment Analysis) 와 같은 다양한 소프트웨어 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능들은 기기 (device) 를 정리하여 현재 시장에서 가장 포괄적이고 발전된 마스크 정렬기 중 하나입니다.