판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9144946

CANON MPA 600 FA는 사진 촬영 및 웨이퍼 패턴화에 사용되는 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 이 유형의 정렬기를 사용하면 반도체 칩, MEM, LED 및 거의 모든 유형의 마이크로 패브릭션에서 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. CANON MPA600FA는 320mm 기판 크기, 최고 광학 정확도, 고해상도, 고정밀 및 높은 생산성을 갖추고 있습니다. 5 축 동작 제어 장비의 정확도가 높기 때문에 속도가 증가합니다. 이 기계의 높은 정밀도 (high precision) 는 제조 과정의 모든 단계에서 패턴을 정확하게 복제할 수 있도록 합니다. 5 축 동작 제어 시스템은 또한 정확도를 향상시키고 프로세스 조정에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 독자적인 회절 광학 요소 (Proprietary Diffractive Optical Element, DOE) 기술로 사진식자술과 웨이퍼 패턴화의 이미지 배치 정확도를 향상시키도록 설계되었습니다. 도에 (DOE) 기술은 매우 정확한 옵틱 세트를 사용하는데, 이는 하나의 웨이퍼에서 다음 웨이퍼로 매우 정확하게 복제할 수 있는 패턴을 만드는 데 도움이 됩니다. MPA-600FA에는 고해상도의 컬러 디지털 LCD 모니터 (디지털 LCD 모니터) 가 장착되어 있어, 사용자가 인터페이스를 쉽게 사용하여 전체 작업을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 빠르고 정확한 기판 배치를 위해 통합 레이저 정렬 장치를 제공합니다. 이 머신을 사용하면 한 단계에서 칩 (chip) 패턴을 마스크 (mask) 에 정렬한 다음 패턴 (pattern) 의 위치를 여러 번 복제할 수 있습니다. MPA 600 FA에는 다중 패스 스캔, 파장 선택, 노출 최적화 등 여러 자동 기능도 제공됩니다. 이러한 기능은 패턴화의 전반적인 효율성과 정밀도를 향상시킵니다. 전체적으로, CANON MPA-600 FA는 고품질 마이크로 패턴을 미세 구성하고, 사진 식자법 및 웨이퍼 패턴의 처리량과 정확도를 높입니다. 이 기능은 고급 사진 해설법 (photolithography) 및 웨이퍼 패턴화 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.