판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9109111

CANON MPA 600 FA는 nanomanufacturing, NIL (nano-imprint lithography) 및 박막 증착과 같은 응용 프로그램을위한 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 업계를 선도하는 표준으로 구축되었으며, 미크론 이하의 수준에서는 정밀 제작 및 분석이 가능합니다. CANON MPA600FA의 중심은 강력한 63 와트 CO2 레이저로, 매우 높은 노출 강도와 초점 깊이를 생성합니다. 이를 통해 광저항 웨이퍼 (photo-resist wafer) 에서 유리 및 실리콘 재료에 이르기까지 다양한 기판에 마스크 패턴을 매우 정확하고 균일하게 노출 할 수 있습니다. 고해상도 0.01 äm로, 현재 IC (integrated circuit) 설계에서 볼 수있는 대부분의 기능과 호환됩니다. 또한 MPA-600FA에는 두 개의 정밀 제어 6 축 선형 모터 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 단계에서는 정확하고 재현 가능한 포인팅 (pointing) 정확성을 통해 빠른 속도로 미세한 상세 구조에서 정렬 (alignment) 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 CANON 특허 MAVIC/AFH (Multi-Axis Variation Control 및 Auto-Focus Height) 기술로 더욱 향상되었습니다. MAVIC/AFH 시스템은 내장 어댑티브 센서 헤드 (Adaptive Sensor Head) 및 연산 피드백 (Computational Feedback) 을 사용하여 동작 테이블러의 동적 제어를 가능하게 하며, 레이아웃 설계 및 기판 변형으로 인한 오류를 자동으로 방지합니다. 또한, CANON MPA-600FA 에는 쉽고 효율적인 작동이 가능한 고급 작동 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 사용자는 EtherCAT 네트워크 (EtherCAT Network) 를 사용하여 프로세스 제어/모니터링 시스템에 쉽게 액세스할 수 있으며, 컴퓨터에 원격으로 연결된 모든 컴퓨터의 시스템 상태 및 수정을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 "마스크 '정렬 장치 에는 열 진공" 척' 과 진공 "펌프 '가 장착 되어 있는데, 이" 펌프' 는 기판 을 제자리 에 넣기 위하여 적당 한 양 의 진공 상태 를 예치 할 수 있다. 마지막으로 CANON THERMON은 마스크 정렬기에 고급 온도 관리 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 "머신 '의 여러 구성 요소 들 에 대한 최적 의 온도 를 유지 할 수 있으므로, 노출 의 정확성 이 유지 된다. 따라서 MPA 600 FA는 정밀 제작 및 분석을위한 매우 다재다능한 도구입니다. 업계 선두의 표준과 고급 기능을 갖춘 MPA600FA (MainStay) 는 다양한 제작 워크숍의 주축이 될 것입니다.