판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9066663
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CANON MPA 600 FA는 고정밀 병렬 노출 및 칩 직접 쓰기를 위해 설계된 마스크 정렬 장치입니다. 이 장치는 완전하게 자동화된 장비로, 마스크 등록, IC 패키징, 신기술 (Novel Device) 개발의 광범위한 응용프로그램 전용입니다. 정교한 디자인으로 인해 매우 안정적인 이미징 특성을 제공합니다. CANON MPA600FA에는 고효율 광 전송을 위해 고급 쿼츠 이미징 램프와 특허 응축기가 장착되어 있습니다. "마스크 '는 각도 0 도 내지 90 도 에 이르는 여러 기판 에 걸쳐 매우 높은" 마스크' 등록 정확도 를 유지 할 수 있다. 이렇게 하면 기판 유형에 관계없이 등록된 이미지가 정확해집니다. 이 장치의 효율적인 광 전송은 또한 빠른 주기 시간과 최소한의 열 예산 허용 (thermal budget tolerance) 을 보장합니다. MPA-600FA에는 고급 마이크로 프로세서 제어 노출 시스템도 장착되어 있습니다. 이 장치에는 각 이미지의 정확한 노출 매개변수를 자동으로 계산하는 특허받은 전기 광학 머신 (electro-optical machine) 이 포함되어 있습니다. 그런 다음, 도구는 마스크에서 이미지 데이터를 추출하여 리토그래피 (lithography) 용 기판으로 직접 전송합니다. 또한 필요할 때 이러한 매개 변수를 자동으로 조정하여 노출 최적화를 허용합니다. MPA-600 FA는 수동 또는 컴퓨터 제어 모드에서 작동할 수 있습니다. 고정밀 렌즈는 1.25m의 이미지 해상도를 제공합니다. 보다 느린 스캔 속도 (20mm/초) 로 작동하는 경우, 장치는 최대 600 DPI 의 처리 속도를 달성 할 수 있습니다. 자산에는 자체 난방 장치 (heating and cooling system) 도 포함되어 있으며, 이는 시간이 지남에 따라 이미지를 최적화하는 데 사용됩니다. 마지막으로, CANON MPA-600FA는 패키징에서 회로 기판 개발에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 가장 까다로운 어플리케이션을 위한 다양한 기능을 제공합니다. 예를 들어, 향상된 기판 보호 모델, 유연한 데이터 전송 인터페이스, 여러 메모리 옵션 등이 포함되어 있습니다. 따라서 거의 모든 애플리케이션에 적합합니다.
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