판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9058852

CANON MPA 600 FA는 자동 전체 웨이퍼 마스크 정렬기입니다. 고급 전자 장치 제조업체 (Advanced Electronic Device Manufacturer) 가 템플릿을 기판 또는 장치 표면 위로 전송하는 데 사용되는 도구입니다. "알리너 '는 넓은 지역 에 대한 정확성 과 정확성 을 위해 설계 되어 현대 의" 반도체' 생산 에 이상적 인 선택 을 하고 있다. 장비에는 600mm (23.62 ") 의 넓은 석판화 영역과 10 나노 미터 (nm) 의 해상도가 장착되어 있습니다. 패턴 노출 및 정렬 정확도를 위해 248nm 및 248nm의 향상된 파장이 특징입니다. 특허를받은 "자동 정렬 (auto-alignment)" 시스템은 기판 및 템플릿을 마스크 단계에 신속하고 정확하게 정렬합니다. 이 장치에는 4 가지 주요 구성 요소가 포함됩니다. 1) 마스크 스테이지 (Mask Stage): 이 플랫폼은 템플릿과 기판을 리소그래피 영역 위에 배치하여 반복 가능한 정밀도를 보장합니다. 전송 범위는 300mm이며, 다른 기판 크기를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 2) 조명 기계: CANON MPA600FA의 조명 도구는 고급 광원을 사용하여 균일 한 노출에 매우 높은 밝기를 제공합니다. 고해상도 이미징 (10nm) 을 생성할 수 있어 반도체 기판의 고밀도 패턴 제작에 이상적이다. 3) 정렬 에셋 (Alignment Asset): 이 모델은 정확한 각도 이등분선 및 액추에이터 장비로 고급 정렬 정확도와 제어를 제공합니다. 웨이퍼 레벨 정렬 및 조정을 통해 최대 노출 정확도를 보장합니다. 4) Z축 단위 (Z-Axis Unit): Z축 단위는 손쉽게 조절할 수 있도록 마스크 구조의 높이를 유지합니다. 또한 독립적인 에지 제어 (edge control) 및 자동 정렬 (auto-alignment) 을 통해 마스크 등록을 가장 정확하게 확인할 수 있습니다. MPA-600FA 는 모든 고급 기술 생산에 적합한 강력한 툴로서, 매우 정밀한 패턴 전송을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 조명, 정렬 및 정밀 시스템은 대형 석판화 영역과 함께 CANON MPA 600FA를 고정밀 전자 장치 생산에 이상적인 선택으로 만듭니다.