판매용 중고 CANON MPA 600 FA #9016131

CANON MPA 600 FA 마스크 정렬기는 리소그래피 기술을 사용하여 제품을 제작하는 데 필수적인 도구입니다. 이 제품은 대용량 (high-volume) 생산을 위해 설계되었으며 매우 정확한 패턴화가 가능한 완전 자동화 머신입니다. 이 장치는 진공 척 (vacuum chuck) 의 조합을 활용하고 코팅 기술을 저항하여 다양한 기판에 마이크로 패턴 (micro-patterned) 기능을 라인, 전송 및 개발합니다. 이 장비에는 자동 마스크 정렬 시스템 (Automatic Mask Alignment System) 과 지능형 시각 장치 (Intelligent Vision Unit) 가 모두 장착 정렬 장치 (Alignment Machine) 는 레이저 위치 센서를 사용하여 기판의 정렬 표시를 정확하게 찾아서 마스크와 레이어 사이에 정확하게 등록할 수 있습니다. 시력 도구 (vision tool) 는 기판 결함을 감지하고, 기판에 존재하는 프레임과 레이어의 수를 식별하고, 정렬 매개변수를 계산하는 데 사용됩니다. CANON MPA600FA는 여러 기판과 마스크를 동시에 처리 할 수있는 모듈 식 자산입니다. 이 모델은 마이크로미터 (micrometer) 에서 밀리미터 (mm) 에 이르는 다양한 패턴 형상을 처리 할 수 있습니다. MPA-600FA는 해상도 -8äm, 패턴 편차 -5äm의 고정밀 패턴을 달성 할 수 있습니다. 견고 한 저항 "코우팅 '기술 로, 이 장비 는 가장 어려운" 패턴' 까지도 쉽게 재현 할 수 있다. CANON MPA600-FA는 고급 광 정렬 기술을 사용하여 노출 정확도를 최적화하고 결과를 균일하게 보장합니다. 기계는 기판 적재, 저항 응용 프로그램 및 노출 후 프로세스 동안 기판을 단단히 고정시키는 진공 척 (vacuum chucks) 을 갖추고 있습니다. MPA600-FA는 또한 다양한 저항성 (Resist) 재료를 지원하여 광학 및 물리적 속성을 결합하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 대규모 생산 마스크를 신속하게 처리 할 수있는 CANON MPA 600FA는 리소그래피 주기 (lithography cycle) 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 오프라인 (offline) 을 실행할 수 있으므로 여러 운영 작업을 동시에 완료할 수 있으므로 더 높은 수익률을 얻을 수 있습니다. CANON MPA-600FA는 대용량 생산 요구 사항에 이상적인 도구입니다. 정교한 기능과 안정적인 성능을 결합하면 리소그래피 (lithography) 와 마이크로패브레이션 (microfabrication) 을 실행할 수 있습니다. 이 장치는 사용하기 쉽고, 닫힌 루프 자동 정렬 (closed-loop automatic alignment) 을 통해 최소한의 연산자 입력으로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 안정성이 높고 효율성이 뛰어난 MPA 600FA는 석판화 (lithography) 및 마이크로패브라이션 어플리케이션을 위한 동급 최고의 마스크 정렬기입니다.