판매용 중고 CANON MPA 600 FA #293625511

캐논 MPA 600 FA (CANON MPA 600 FA) 는 반도체 장치 제조에 사용되는 패턴화 프로세스를 수행하도록 설계된 고성능 마스크 정렬 장치입니다. 이 시스템은 컷 마스크 등록을위한 자동화된, 고속 및 고정밀 메커니즘을 갖추고 있습니다. 이 장치는 공기 베어링 장착 단계, 레이저 간섭계 (laser interferometer) 및 닫힌 루프 서보 포지셔닝 및 XY 축과 회전 축 모두를 동시에 제어하는 정렬의 조합을 사용합니다. 캐논 MPA600FA (CANON MPA600FA) 머신은 패턴 정렬에서 높은 정확도와 반복성을 갖추고 있으며, 스테이지의 독립적 인 수직 이동을 가능하게 하며, 프로브, 핀 및 기타 패턴 도구를 쉽게 처리할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도 (High-resolution) 및 고대비 (High-contrast) 이미지 처리 에셋을 갖추고 있어 패턴의 요소를 정확하게 감지하고 측정 할 수 있습니다. 6x F-Theta 렌즈를 갖춘 고급 광학 모델은 고품질 이미징을 제공하여 포토 마스크의 정확한 에지 정렬을 보장합니다. 이 장비는 공기 베어링 (air bearing) 장착 단계를 사용하여 부드럽고 낮은 진동 단계 이동을 제공하여 매우 정확한 정렬 및 인쇄 성능을 보장합니다. 또한 유지 보수가 용이하며 장기적인 안정성과 환경 견고성을 제공합니다. 이 시스템은 위치 정확도가 0.5µm 인 기판에 패턴의 정밀 배치를 보장합니다. MPA-600FA 장치는 또한 마스크 제작, 패턴화, 스퍼터 증착, 포토 esist 코팅, 에칭 프로세스 등 다양한 고급 자동 기능을 제공합니다. 또한 이 머신은 빠른 정렬 (Quick Aligner) ™ 기능을 제공하여 몇 초 안에 패턴의 오정을 신속하게 감지하고 수정하여 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 CANON MPA 600FA 는 자동화/통합 프로세스 제어를 지원하는 다양한 소프트웨어 옵션과 기능을 제공합니다. 간편한 툴 설치/프로그래밍을 위한 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 갖추고 있으며, 기존 소프트웨어/하드웨어 시스템과 통합하여 손쉽게 통합하고 운영할 수 있습니다. CANON CANON MPA-600FA 에셋은 빠르고 정확하고 반복 가능한 포토 마스크 정렬을 수행하고 안정적인 생산 성능을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 전자 제품 및 광전자 (optoelectronic) 애플리케이션에 적합하며 안정적이고 강력한 마스크 정렬기 (mask aligner) 모델 솔루션입니다.