판매용 중고 CANON MPA 600 FA #293609496

CANON MPA 600 FA는 반도체 장치 제작의 사진 분석 프로세스에 사용되는 완전 자동화 된 스테퍼 스캐너 정렬기입니다. 포토 마스크 (photomask) 에 정의 된 패턴을 노출 된 포토 esist 코팅 된 웨이퍼에 정확하게 정렬 할 수있는 마스크 정렬기입니다. 이것 은 "마스크 '에서" 웨이퍼' 를 포토레지스트 '로 덮고 있는 "웨이퍼' 에 투사 하여" 와퍼 '에 "이미지' 를 옮긴다. CANON MPA600FA 는 정밀 등록 및 정렬을 위한 지능형 이중 영역 스캐닝 시스템 (Dual-Area Scanning System) 을 갖추고 있어 정확한 반도체 장치 구성 애플리케이션에 적합합니다. LED 기반의 광원이 있어 설계 해상도 및 패턴 충실도 (pattern fidelity) 향상에 탁월한 밝기를 제공합니다. 기본 제공되는 자동 검사 기능을 사용하면 최적의 정렬 위치를 자동으로 감지할 수 있습니다. 머신의 정의 기능에는 높은 처리량, 정확도 및 위치 정확도가 포함됩니다. MPA-600FA의 레이저 정렬 정확도는 ± 6 -m이며 정확한 정렬 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 유리, 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 기판과 같은 광범위한 기판을 지원합니다. 내장 자동 검사 기능을 사용하면 큰 기판을 스캔하는 동안 결함 및 작은 입자 크기를 감지 할 수 있습니다. 시스템은 조정없이 8 인치에서 12 인치 직경의 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, CANON MPA-600FA에는 레이저 간섭계에 의한 미세 정렬을 가능하게 하는 옵토 기계적 패키지가 있어 오버레이 정렬을 웨이퍼 할 수있는 정확한 마스크를 제공합니다. 또한 디지털 네트워킹 기능을 통해 기계를 원격 제어할 수 있습니다. 또한 마스크 구성 및 설계 확인을 위해 CAD 기반 데이터 입력을 지원합니다. 기계는 ATE를 준비하여 ATE와 aligner 사이에 통합 제어를 제공합니다. 전반적으로 CANON MPA600-FA는 안정적이고 정확한 반도체 장치 제조에 이상적인 마스크 정렬기입니다. 광범위한 기능, 유연한 기판 지원, 정확성 등을 갖춘 이 제품은 일관되고 정확한 결과를 제공합니다 (영문).