판매용 중고 CANON MPA 500FA #9226337

CANON MPA 500FA Mask Aligner는 최고의 정확성과 일관성을 제공하는 정밀 도구입니다. 리소그래픽 패턴을 웨이퍼 (예: photolithography) 및 이미지 전송 (image transfer) 으로 전송하는 중요한 프로세스를 용이하게합니다. 이 도구는 반도체, optoelectronics, microelectronics, microfluidics 및 biomedical을 포함한 다양한 산업에 적합합니다. 이 기계에는 정밀도 정렬 된 5 축 동작 시스템이 장착되어 있어 빠르고 정확한 성능을 제공합니다. 표준 작업 면적은 500mm x 500mm이며 최대 1500mm까지 확장 할 수 있습니다. CANON MPA-500FA는 자동 로드/언로드, 자동 정렬 및 고속 정렬과 같은 고급 생산성 기능을 제공합니다. 또한 직관적인 제어 시스템, 공구가없는 스테퍼 및 스캔 된 레이저 정렬을 자랑합니다. 이 도구는 사용자 친화적인 통합 인터페이스를 통해 자동 설정 작업을 제공합니다. 또한 최적화된 이미징 및 전체 원 (full-circle) 디지털 마스크 검사 기능을 지원하는 내장 카메라가 있습니다. 또한 MPA 500 FA에는 향상된 이미지 명암을 제공하는 전용 기판 반사 방지 코팅 시스템 (anti-reflective coating system) 이 장착되어 있습니다. 기계의 다른 기능으로는 광학 및 전자 빔 유형과 같은 다양한 리소그래피 형식과의 호환성이 있습니다. 또한 파라미터 변형을 수용하는 최적의 노출 최적화 (Imposure Optimization) 컨트롤과 실시간 자동 초점 기능, 다중 이미지 비교 등이 제공됩니다. 또한, 정확성을 손상시키지 않고 빠르게 노출 할 수있는 빠른 스캔 마스크가 장착되어 있습니다. 전반적으로 CANON MPA 500 FA는 매우 정교하고 사용이 간편한 툴로서, 최고의 품질과 고해상도 미세구조를 만들어내며, 최고의 정확성과 일관성을 제공합니다. 우수한 결과를 보장하면서 기판 처리 시간을 크게 단축합니다.