판매용 중고 CANON MPA 500FA #9226327

CANON MPA 500FA
ID: 9226327
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 1982
Aligner, 5" 1982 vintage.
CANON MPA 500FA는 반도체 장치 제작을위한 최첨단 마스크 정렬기입니다. 고정밀도 마스크 오버레이 정렬 및 기능 등록을 위해 설계되었으며, 리토그래피 (lithography) 에 이상적인 도구입니다. CANON CANON MPA-500FA는 0.5 인치에서 12 인치 또는 더 큰 크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 하향식 광 정렬, 자동 감지, IC 칩 정렬, 하향식 광 정렬, 경계 스캔 정렬 등 5 가지 정렬 시스템이 있습니다. 이미지 처리 기술의 도움으로 MPA 500 FA는 크기와 모양이 다른 마스크 (마스크) 를 몇 단계로 정확하게 정렬할 수 있습니다. CANON MPA 500FA는 +/- 2 미크론의 정확도로 정렬을위한 고정밀 스테퍼 모터와 서보 모터를 갖추고 있습니다. 또한 시각화 및 작동 향상을 위해 10 단계의 확대 및 읽기 쉬운 LCD 디스플레이를 제공합니다. 작업 거리 연장 및 다중 레이저 옵션을 통해 MPA-500FA는 넓은 영역과 고밀도 어플리케이션을 위해 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. CANON MPA 500 FA는 웨이퍼 당 최대 8 개의 마스크를 수용 할 수 있으며, 최대 해상도는 0.5 nm, 정렬 속도는 5.8 m입니다. 최신 노출 소스와 호환되며 고급 컴퓨팅 리소그래피를 사용하여 높은 처리량과 뛰어난 화질을 지닌 마스크를 효과적으로 생산합니다. 생산성 향상을 위해 CANON MPA 500FA 는 여러 웨이퍼 자동 처리, 웨이퍼 로드, 언로드, 정렬 등의 고급 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 또한 이중 청각 노출 장치, 쿼츠 히터 (quartz heater) 및 공정 신뢰성을 높이기 위한 냉각 단계가 있습니다. CANON CANON MPA-500FA는 뛰어난 안정성과 성능을 위해 고급 광 링크 설계를 사용합니다. 또한 Windows 10/Windows 7 및 다양한 소프트웨어와 호환되며, 고품질 리소그래피 (lithography) 를 보장하는 포괄적인 지원 기능을 제공합니다. 요약하자면, CANON MPA 500 FA는 반도체 장치의 제작에 적합한 고급 마스크 정렬기입니다. 탁월한 성능, 빠른 정렬 속도, 높은 정확도 오버레이 (overlay) 정렬 및 기능 등록을 위한 안정적인 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 다중 옵티컬 시스템과 고급 옵티컬 링크 설계를 갖춘 MPA 500FA (Optical Link Design) 는 정확한 석판화를 위한 강력한 도구입니다.
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