판매용 중고 CANON MPA 500FA #9226311

CANON MPA 500FA는 다양한 기판에서 고정밀 리소그래피 (lithography) 를 수행하도록 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 평면 내 정렬 기술, 고속 28nm 스텝 해상도, 웨이퍼 두께 측정 시스템 등 여러 가지 독특한 기능을 활용합니다. CANON MPA-500FA (CANON MPA-500FA) 의 주요 구성 요소는 마스크 위치 및 방향을 조정하는 aligner 플레이트입니다. 판은 평면 내 정렬 (in-plane alignment) 기법으로 설계되었으며, 이를 통해 정렬 정확도가 우수하고 정렬 시간이 짧습니다. 플레이트는 4 개의 프리즘 모양의 포스트를 사용하여 웨이퍼 챔버 내에서 정확한 위치를 보장합니다. 두 게시물 사이에 마스크를 배치하는 데 추가 된 정확성을 위해 중심 손잡이 (centering knob) 가 제공됩니다. MPA 500 FA에는 기판의 정확한 두께를 측정하기위한 웨이퍼 두께 센서가 포함되어 있습니다. "센서 '는" 앨리너' 판 에 장착 되어 있으며, "이미지 '의 선명도 에 영향 을 줄 수 있는 기판 의 불규칙성 을 정확 하게 보충 하는 데 사용 될 수 있다. 또한, 이 장치는 내장 등록 수정 모드와 2 점 등록 모드 (마스크 정렬 조정 가능) 를 제공합니다. MPA 500FA에는 고속 28nm 스텝 해상도와 고효율 레이저 패턴화 모듈 (Laser Patterning Module) 을 갖춘 고급 리소그래피 머신도 포함되어 있습니다. 고급 석판화 도구 (Advanced Lithography Tool) 에는 고정밀 벡터 발전기 (High-Precision Vector Generator) 와 파면 인식 에셋이 장착되어 있으며, 기존의 석판화 시스템보다 더 매끄러운 이미지로 작은 구조를 제작할 수 있습니다. CANON MPA 500 FA는 사용자의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 다양한 광 시스템에서 사용할 수 있습니다. 여기에는 접촉 또는 근접 노출에 사용할 수있는 반사 광학 (Reflective and transmissive optics) 이 포함됩니다. 이 광학은 뛰어난 정확도, 해상도, 충실도 등의 이미지를 만들어내도록 설계되었습니다. MPA-500FA에는 정확하고 안정적인 스테핑을 제공하는 고정밀 소형 스테퍼 모터 및 기어 박스도 포함되어 있습니다. 계단식 이미지는 확장 시야를 제공하는 현미경 (옵션) 을 사용하여 볼 수 있습니다. 이 모델에는 컴퓨터 지원 정렬 장비가 장착되어 있어 여러 계층에 정확하게 등록할 수 있습니다. 전체적으로 CANON MPA 500FA는 고밀도 리소그래피, 평면 내 정렬 기법, 웨이퍼 두께 측정 시스템, 사용자 요구를 사용자 정의하기위한 다양한 광학을 결합한 고급 마스크 정렬기 (advanced mask aligner) 를 제공합니다. 이 장치는 반도체 장치 및 nanofabricated 구성 요소에 대한 고해상도 이미지를 생성하는 데 이상적입니다.