판매용 중고 CANON MPA 500FA #293592856
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ID: 293592856
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 1995
Aligner, 5"
Control box
CTC Unit
(2) Accessories packing
Lamp power supply
1995 vintage.
CANON MPA 500FA는 반도체 장치 처리를 위해 설계된 차세대 마스크 정렬기입니다. 산업생산뿐만 아니라 연구개발 (R&D) 에 적합한 다재다능하고 신뢰할 수 있는 도구다. CANON MPA-500FA에는 정밀한 정렬 및 노출 매개변수를 보장하는 자동 장비가 있습니다. MPA 500 FA는 최대 유도 m 해상도를 달성하기 위해 설계되었으며, 정렬 정확도는 최대 0.1äm입니다. 최대 4 "× 4" 의 넓은 시야를 특징으로하여 더 큰 크기의 웨이퍼를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 사이의 정확한 거리를 정확하게 조정 할 수있는 6 축 강착 현미경이 장착되어 있습니다. 또한 CANON MPA 500 FA는 래피드 정렬 (Rapid Alignment) 모드로, 스테이지를 완전히 다시 로드하지 않고도 마스크의 미세한 세부내용으로 정렬을 빠르게 조정할 수 있습니다. 이는 정밀 정렬에 필요한 시간을 줄여 처리량을 크게 증가시킵니다. 또한 원격 조정 제어 (remote adjustment control) 를 통해 정렬 매개변수를 원격으로 관리할 수 있습니다. MPA-500FA는 간편하고 견고한 제어 시스템으로 설계되었으며, 터치 패널 인터페이스를 갖추고 있습니다. 즉, 통합 모니터를 통해 운영자가 정렬 과정을 면밀히 모니터링할 수 있으므로, 정확한 지침을 쉽게 유지할 수 있습니다. 자체 진단 장치는 또한 수정이 빠르고 정확하게 이루어지도록 도와줍니다. MPA 500FA에는 고급 이미징 시스템도 장착되어 있어 수동, 반자동, 자동 작동이 가능합니다. 정렬 및 노출 매개 변수를위한 고해상도 이미징 시스템이 특징입니다. WADI 이미징 머신은 또한 정확도가 높은 정밀 이미징을 허용합니다. 캐논 MPA 500FA (CANON MPA 500FA) 는 인력과 장비를 예기치 못한 사고로부터 보호하는 통합 안전 툴로 설계되었습니다. 이 제품은 향상된 배기가스 (배기가스) 에셋을 갖추고 있으며, 부산물로부터 인력을 안전하게 보호하도록 설계되어 있습니다. 마지막으로, CANON MPA-500FA는 전력 소비량이 적은 에너지 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 컴팩트한 디자인 (compact design) 을 통해 거의 모든 환경에 배치 할 수 있습니다. 따라서, 정확성과 편의성을 필요로 하는 모든 어플리케이션에 이상적인 옵션으로 사용할 수 있습니다.
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