판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9410722
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ID: 9410722
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 1996
Mask aligner, 5"
Control box
Lamp power supply
Missing parts:
CTC Unit
Conduit
1996 vintage.
CANON MPA 500 Fab은 집적 회로 (IC) 웨이퍼 제작에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 포토 마스크 및 IC 웨이퍼의 수동 정렬 필요성을 완화시키는, 정확하고 자동화된 정렬 프로세스를 사용합니다. CANON MPA 500FAB는 고해상도 비디오 검사 장비와 비접촉 변위 감지 시스템 (non-contact displacement detection system) 을 사용하여 가시 마커 및 정확한 패턴 경계를 정확하게 정렬합니다. 마스크 정렬기는 정렬 및 리소그래피 프로세스 동안 웨이퍼 평탄도를 유지하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 정밀 빔 스캐닝 (beam scanning) 및 포지셔닝 장치 (positioning unit) 가 추가되어 정밀 오버레이 기능을 원활하게 전환할 수 있습니다. MPA-500FAB에는 빠른 스캐닝 속도와 정확한 위치를 제공하는 고정밀 (high-precision) 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 고정밀도 포커스 서보 머신 (focus servo machine) 이 장착되어 있어 정확한 결과와 함께 올바른 패턴 영역에 빔을 집중할 수 있습니다. 마스크 정렬기에는 CCD 이미징 도구와 원활한 레이어 정렬을 지원하는 다중 파장 조명 에셋 (multi-wavelength illumination asset) 이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치는 최대 100nm 회선 및 공간 패턴을 노출 할 수 있으며, 최대 노출 면적은 200mm x 200mm입니다. 빠르고, 정확하며, 정확한 노출 정확성을 보장하기 위해 장치에는 다중 영역 노출 제어 모델 (multi-zone exposure control model) 과 고해상도 자동 수정 장비가 포함됩니다. CANON MPA 500-FAB 는 시간당 120 개의 wafer 처리량을 가진 높은 처리량 수준에서 작동할 수 있습니다. 이 장치는 한 번에 여러 노출 프로세스를 완료할 수 있으므로 대용량 (Mab-Volume) 대량 생산에 적합합니다. 이 장치에는 최소한의 유지 보수 작업만 필요하며, 단순한 사용자 인터페이스를 활용하며, 장기적인 안정성을 위해 ANSI 안전 표준을 준수합니다.
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