판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9305193

CANON MP 500 Fab은 반도체 제작, 사진 분석 및 LED 제조와 같은 응용 분야에 사용되는 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 고급 하드웨어/소프트웨어 시스템으로 설계되어 처리 시간이 짧고, 정밀한 정렬, 정확성, 신뢰성을 보장합니다. 이 시스템은 고급 기술 노드 및 차세대 반도체 장치에 가장 적합합니다. 이 기계는 각도 방향, 더 큰 웨이퍼를 수용하는 넓은 작업 공간, 노출 시간을 줄이기 위해 우수한 조명기 (illuminator) 를 갖춘 자동 단계를 갖추고 있습니다. 또한 프로세스 유연성 및 청결성 향상을 위해 열린 공간을 설계했습니다. 사용 편의성과 저렴한 비용으로 인해 CANON MP 500 Fab은 고급 기술 노드에 적합한 선택이 됩니다. 이 기계는 직관적으로 설계된 운영자 콘솔과 액세스 가능한 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. 또한 대화형 LCD 터치 스크린 컨트롤, 실시간 그래픽 디스플레이, 듀얼 축 제어를 통해 손쉽게 정렬할 수 있습니다. 또한 다양한 운영 실행을 수용할 수 있도록 배치 (batch), 지연 (delered) 및 스텝 인터록 (step-interlock) 모드와 같은 여러 작업 제어 옵션을 제공합니다. 더 정확한 정렬 및 노출 정확성을 위해 CANON MP 500 Fab은 완전 자동화 된 스테이지 제어를 사용합니다. 이 시스템은 또한 표면 결함을 감지하는 근접 진단 및 LWD (Linewidth Adjustment Drive) 시스템을 제공하여 최대 백만 분의 1 정도의 웨이퍼 좌표 정렬을 정확하게 설정하고 제어합니다. 이 기계의 견고한 설계는 허위 트리거를 최소화하고 다양한 어플리케이션에서 안정적으로 성능을 보장합니다 (영문). CANON MP 500 Fab의 최대 해상도는 2jm이며 일반적인 노출에서 뛰어난 경량 용량 정확도는 ± 0.7% 입니다. 터미널 스테이션 (Terminal Station) 은 자동으로 광도를 조정하고 셔터 시간을 트리거 할 수 있으며, 스캔 속도가 매우 빠릅니다. 이 기계는 또한 프로세스 링크 향상을 위해 여러 프로그래밍 및 기판 처리 시스템과 호환됩니다. 또한, 내장 6 축 모터는 이미지 전송 프로세스에서 빠른 사이클 시간을 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 CANON MP 500 Fab은 고급 기능, 높은 정확도, 신뢰성, 빠른 속도 덕분에 다양한 반도체 및 사진 촬영 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 Lead Time 을 최소화하면서 고급 기술 노드에 유연하고 저렴한 솔루션을 제공합니다.