판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9269097

캐논 MPA 500 Fab (CANON MPA 500 Fab) 은 반도체 웨이퍼의 정렬 및 사진 해설을 위해 설계된 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 동일한 노출 기간에 최대 8 개의 웨이퍼를 정렬 할 수 있으며, 정확도가 높은 정밀 제어 (precision control) 를 위해 설계되었습니다. 광학 장비는 최대 편차 ± 15jm의 정밀한 정렬 범위 (± 30jm) 를 제공합니다. CANON MPA 500FAB는 밀폐 된 먼지 없는 디자인과 특수 밀봉 세라믹 도어 (ceramic door) 를 갖춘 제어 클린 룸 (clean-room) 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 0 ~ 2mm 사이의 조정 가능한 초점 깊이와 숫자 값 0.5 배의 최대 초점 렌즈를 제공 할 수 있습니다. 가동 중, 알리그너 (aligner) 의 공기 및 내부 주택은 모두 3 단계 먼지 제거 시스템을 통해 필터링되어 최고 품질의 환경을 보장합니다. "이온 '빔' 원 은 오염 된 입자 를 제거 하기 위하여 전자 를 직접" 웨이퍼 '에 가속 시킴 으로써 엄격 한 청결 을 제공 한다. MPA-500FAB는 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 자체 제작 된 패턴 생성기를 통해 연산자는 여러 마스크 및 포토 마스크 패턴으로 자체 맞춤형 스티칭 맵을 빠르게 만들 수 있습니다. 또한 빠른 쓰기, 노출, 정렬 알고리즘을 통해 고속, 저비용 노출 프로세스를 수행할 수 있습니다. 단일 및 다중 레이어 노출에 적합하며 최대 225mm (최대 6.4mm) 의 넓은 영역 노출 또는 최대 6.4mm (작은 노출 영역) 을 생성 할 수 있습니다. 캐논 MPA-500FAB (CANON MPA-500FAB) 는 유연성을 위해 설계되었으며, 양의 저항과 음의 저항을 포함한 광범위한 저항 재료와 호환됩니다. 이 제품은 최소 기능 크기 0.2 m (0.2 m) 와 결합 된 UV 정렬기를 특징으로하여 세밀하고 깨끗한 마스크를 서브 미크론 정밀도로 만들 수 있습니다. CANON MPA 500-FAB 는 낮은 고장 확률로 정확성과 안정성을 위해 설계되었습니다. 주택은 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며 공수 입자가 부대에 들어가지 못하도록 밀봉되었습니다. 에너지 소비량이 적고, 프로세스 주기가 짧아 속도 및 에너지 효율성을 위해 설계되었습니다. 또한 자가 진단 시스템 (Self Diagnosis Machine) 을 사용하여 문제가 발생할 경우 피드백을 제공하여 성능을 유지 및 향상시키고 다운타임을 방지할 수 있습니다.