판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9214610

캐논 MPA 500 Fab (CANON MPA 500 Fab) 은 고급 기술을 활용하여 포토 마스크의 정확한 배치 및 정렬을 가능하게 하는 완전 자동 마스크 정렬 장치입니다. CANON MPA 500FAB는 정렬 오류를 최소화하여 고급 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 및 반도체 프로세스에 사용되는 photomask 제조에 이상적입니다. 이 기계는 광학 해상도가 높은 정밀도 정렬을 포함하여, 빠르고 매우 정확한 photomask 패턴 정렬을 제공합니다. MPA-500FAB는 패턴을 정밀하게 정렬하기 위해 4 필드 스테퍼 모터를 통합합니다. 모터는 기능 크기가 1äm 인 빠르고 정확한 패턴 정렬을 제공합니다. 미세 세그먼트 변조 (Fine Segment Modulation) 를 통해 추가 최적화를 통해 1µm 미만의 기능 크기를 달성 할 수 있습니다. 정렬 정확도는 0.5äm 미만이며, 이는 고유 한 자동 정렬 장비로 향상됩니다. MPA 500 Fab (MPA 500 Fab) 은 조정 가능한 빔 전류와 함께 뛰어난 패턴 배치 정확도 및 패턴 추적 정확도를 제공하며, 뛰어난 노출 균질성을 제공합니다. 그것 은 "쿼츠 '와" 실리콘' 을 포함 하여 대부분 의 회절 기판 의 "패턴 '배치 와 정렬 에 사용 될 수 있으며, 그것 은 광범위 한 응용 에 이상적 이다. 정렬 된 패턴을 자동으로 감지하고 측정할 수 있는 이미지 분석 시스템 (image analysis system) 도 있습니다. 이는 장기간에 걸쳐 최고의 성능과 반복성을 보장합니다. CANON MPA 500-FAB 에는 데이터 입력 및 패턴 검색을 활성화하는 컴퓨터 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 모든 작업에 대한 패턴 시퀀스를 생성하고 사용 편이성 (easy-use) 프로그램을 사용하여 패턴을 제어할 수 있습니다. 또한, "컴퓨터 '는 직관적 인" 그래픽' 사용자 인터페이스 를 제공 하여 "패턴 '정렬 을 편집 하고 만들고 기계 설정 과 매개변수 를 사용자 정의 할 수 있다. MPA 500-FAB 는 또한 뛰어난 다크 필드 (dark field), 밝은 필드 이미징 및 정확성을 제공하며, 자외선에서 적외선 파장까지 광범위한 광원을 생성 할 수있는 내장 할로겐 램프도 제공합니다. 이 기계는 조정 가능한 작업 거리, 레이저 자동 초점, 자동 중심을 제공하는 광학 장치 (optic unit) 를 장착 할 수 있습니다. 전반적으로 CANON MPA-500FAB는 종합적이고 사용자 친화적 인 마스크 정렬기로, 고품질의 정확한 패턴 정렬을 만들 수 있습니다. 높은 정밀도 레이저 정렬 장치, 조절 가능한 매개변수, 다양한 이미징 메커니즘을 통해 MPA 500FAB 는 모든 작업을 효율적으로 처리하고 사용자의 요구를 손쉽게 충족할 수 있습니다.