판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #293768785

CANON MPA 500 Fab은 마스크 정렬 기이며, 이는 집적 회로 및 MEMS 장치와 같은 구성 요소를 구성하는 데 사용됩니다. 이 도구는 마스크 투영 이미징 (mask projection imaging) 을 사용합니다. 여기서 포토 마스크를 포함하는 레티클은 웨이퍼 서피스에 투영됩니다. 그런 다음 "마스크 '위 에 있는" 패턴' 을 "웨이퍼 '에 노출 된 영역 과 정렬 하여" 패턴' 을 정확 하게 배치 한다. CANON MPA 500FAB는 마스크 패턴을 기판 표면에 정렬하기위한 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 장비입니다. 이 시스템에는 마스크 및 기판을 정확하게 포지셔닝할 수 있는 XY (내장 XY) 단계가 장착되어 있습니다. 또한 반복 가능한 노출 결과를 보장하는 자동 노출 조정 장치가 있습니다. 낮은 진공 보류 (low vacuum hold-down) 는 노출 과정에서 어느 시점에서나 안정적인 마스크 접착을 보장합니다. MPA-500FAB는 20 × 20 스테이지 크기로 2jm 정렬 정확도가 가능합니다. 이 기계는 0.8 초의 짧은 처리 시간을 허용하며 위치 오류에서 5 미크론을 허용합니다. MPA 500FAB는 고품질 이미징 도구를 갖추고 있으며, 일관된 조명을 제공하는 광원을 활용합니다. 에셋에는 수차 보정 (aberration correction) 이 적용된 고해상도 렌즈와 5 메가 픽셀 CMOS 유형의 컬러 센서를 포함한 최신 광학 부품이 장착되어 있어 정확성과 정확성을 보장합니다. 또한 이미징 렌즈의 가변 기울기 (variable tilt) 및 이동 (shift) 조정을 허용하며 초점 감지 모델이 내장되어 있습니다. 캐논 MPA 500-FAB (CANON MPA 500-FAB) 는 사용이 간편하며, 직관적인 인터페이스를 통해 쉽게 설치 및 작동할 수 있습니다. 이 장비는 실시간, 3D 모니터링 시스템을 특징으로하며, 외부 제어 및 데이터 모니터링을 위한 인터페이스를 제공합니다. 시스템을 더 효율적으로 사용하기 위해 여러 사용자 기본 설정 (예: 등록된 데이터 누적 (registered data accumulation) 및 단계 이미지 (step image) 기능) 에 맞게 구성할 수 있습니다. MPA 500-FAB 는 또한 다양한 안전 기능을 갖추고 있어 구성 요소와 디바이스를 안전하게 제작할 수 있습니다. 여기에는 유해 화학 물질에 대한 인력의 노출 방지, 자동 마스크 리프터 (automatic mask lifter) 를 방지하기 위해 설계된 안전 시스템이 포함됩니다. 캐논 MPA-500FAB (CANON MPA-500FAB) 는 제조 구성 요소 및 장치를 위한 마스크 및 기판을 정렬하는 데 효과적이고 신뢰할 수 있는 도구입니다. 즉, 고급 기능과 사용이 간편한 작동을 통해, 정확한 정확성과 반복 가능한 결과를 필요로 하는 제작에 이상적인 툴입니다.