판매용 중고 CANON MPA 3000W #9393325

CANON MPA 3000W Mask Aligner는 고품질 반도체를 제작하기 위해 설계된 중형 전문 석판화 장비입니다. 이 시스템은 높은 정확도와 해상도를 달성하기 위해 정확한 마스크 (mask) 를 위해 접촉 정렬 (contact alignment) 방법을 사용합니다. CANON MPA-3000 W Mask Aligner는 대형 웨이퍼 처리 및 전체 표면에 균일 한 노출을위한 넓은 노출 표면적을 특징으로합니다. 이 장치에는 1 미크론 미만의 정확도를 제공 할 수있는 0.5 미크론 해상도를 사용하는 6 인치 주 정렬 방법이 장착되어 있습니다. 또한 핀 위치를 측정하고 필요한 교정을 계산하여 적절한 웨이퍼 위치를 보장하는 자동 핀 위치 (automatic pin position detector) 를 제공합니다. 0.1 미크론 해상도의 3 인치 CCD 카메라를 사용하면 반도체 장치를 제조 할 때 원하는 마스크 패턴에 맞출 수 있습니다. MPA 3000W Mask Aligner에는 자동 현미경 조명기가 있어 노출 패턴을 보다 정확하게 검사합니다. "프로그램 '가능" 간섭계' 도구 는 노출 되기 전 의 정렬 의 안정성 을 점검 한다. 고해상도 노출 모니터는 노출 용량 및 시간을 모니터링합니다. 에셋은 또한 빠른 웨이퍼 교환을위한 고속 공기 베어링 스테이지 (Air Bearing Stage) 를 갖추고 있어 주기 시간을 줄이고 처리량을 향상시킵니다. MPA-3000 W Mask Aligner 는 다용도, 비용 효율적인 석판화 모델로서 마스크 (Mask) 를 통해 노출 및 정렬을 조정할 수 있는 완벽한 장비 통합 기능을 제공합니다. 사용자 친화적 인 디자인이 특징이며, 장비 설치 및 작동을 간단하게 만드는 컨트롤을 쉽게 사용할 수 있습니다. 고급 기능은 연구 및 산업 용도에 적합합니다.