판매용 중고 CANON FLAG-1500 #9161633

CANON FLAG-1500은 금속, 재료 및 장치의 미크론 스케일 패턴을 생성하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 대형 개구부 및 비 평평한 표면을 갖춘 기판을 처리 할 수 있으며, 200mm 웨이퍼에 대해 마스크 등록 정확도 1.5 m 이상을 제공 할 수 있습니다. 0.1 m 이상의 정확도로 게이트 어레이 기술에 대한 비접촉 측면 에지 정렬 및 스페이서 에지 정렬 (Spacer Edge Alignment) 해결을 지원합니다. FLAG-1500 (FLAG-1500) 은 완전하고 안정적인 작동을 제공하는 데 중점을 둔 완전하게 자동화된 마스크 정렬기입니다. EGA 5kW CANON E Seiko Shot으로 구동되며 금속, 실리콘 및 유리 마스크를 에치 할 수 있습니다. 마스크의 최대 크기는 모든 응용 프로그램의 경우 880mm x 880mm입니다. 또한 266mm 레이저 웨이퍼 정렬 시스템, 자동 E-beam 저항 코터, TMA (Transverse Magnetic Alignment) 프레임 및 정렬 등록을위한 OBIRCH 에지 정렬기가 장착되어 있습니다. 이 정렬자 (aligner) 는 웨이퍼의 아웃라인 패턴을 빠르고 정확하게 측정하는 기능을 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. 또한 작고 큰 패턴을 정확하게 구동할 수 있으며, 고속 측정 기능을 제공합니다. 또한 CANON FLAG-1500 은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며, 등록 포인트를 자동으로 저장하여 재교정을 신속하게 수행할 수 있습니다. 또한 작업 조각의 평탄도를 3 차원으로 정확하게 측정 할 수 있습니다. FLAG-1500은 SEMI 및 CE와 같은 국제 표준을 따릅니다. 또한 먼지 여과 시스템 (dust filtration system) 과 화재 억제 시스템 (fire suppression system) 을 포함한 다양한 고급 안전 및 환경 기능이 포함됩니다. 공업환경이 심해서 가동이 가능하며, 최대 12 시간 동안 지속적으로 가동할 수 있다. & # 160; & # 160; 결론적으로, CANON FLAG-1500 은 효율적이고 신뢰할 수 있는 마스크 정렬기로, 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 제품은 다양한 안전 (Safety) 및 환경 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스, 빠른 재교정 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계 는 매우 다양 한 "웨이퍼 '와 재료 를 처리 하고 1.5" 미터' 이상 의 "패턴 '을 정확 하게 조정 하는 데 이상적 이다.