판매용 중고 CANON 501 F #68942

캐논 501 F (CANON 501 F) 는 집적 회로의 제조에 사용되는 자동 마스크 정렬 자로, 포토 마스크 패턴을 포토 esist 코팅 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 또는 기타 기판과 정확하게 정렬하는 데 사용됩니다. "얼라이너 '는 몇" 나노미터' 의 정확도 에 맞추어 "마스크 '를 정확 하게 배치 할 수 있다. 501F는 X 및 Y 축 모두에서 마스크와 웨이퍼를 배치 할 수 있습니다. 진공 "프레임 '은" 웨이퍼' 를 제자리 에 두고 있는데, 이것 은 "X '와" Y' 방향 으로 움직 일 수 있는 3 개 의 "마이크로 모터 '에 의하여 번역 되면서 그 운동 을 추적 하는" 인코더' 의 도움 을 받는다. 세 개의 모터는 서로 다른 정렬 절차와 다양한 동작 범위 (range of motion) 에 대해 외부에서 제어 할 수 있습니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 를 정확 하게 맞추기 위하여 "레이저 '는 기판 의 표면 에 있는" 마커' 로부터의 거리 를 계산 하는 데 사용 된다. "레이저 '는 기판 위 에 놓이고" 마스크' 위 에 투영 되어 거리 를 측정 하고 "정렬 '값 을 계산 한다. CANON 501 F의 또 다른 기능은 피드백 프로세스를 사용하여 정확한 정렬 조정을 수행하는 기능입니다. 501F는 마스크 및 웨이퍼를 먼지 입자 및 기타 오염 물질로부터 보호하기 위해 내장 공압 셔터를 갖추고 있습니다. 공압 "셔터 '는 완전 자동적 이며 빠른 속도 로 열리고 닫힐 수 있다. 이 기계는 또한 UV 조명 램프 (UV lumination lamp) 를 갖추고 있으며, 이 램프는 정렬 품질을 확인하는 데 사용됩니다. 온보드 모니터를 사용하면 연산자가 정렬 결과를 확인할 수 있습니다. CANON 501 F에는 2 차원 모터 제어 장비가 장착되어 있어 마스크 및 웨이퍼의 고속 정렬이 가능합니다. 모터 제어 시스템은 정확하고 응답 시간이 빠릅니다. 이 장치는 또한 배치 반복 (positioning repeatability) 을 수행하여 밀착 정렬 공차를 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 전체에서 정렬 정확성을 보장하기 위해 연속 (continuous) 정렬을 수행 할 수 있습니다. 501 F는 금속 레이어, 폴리실리콘 레이어 및 IC에 사용되는 다른 레이어의 마스크 정렬에 사용됩니다. 이 기계는 칩 (예: 응용 프로그램 프로세서, 메모리 칩, 디스플레이 컨트롤러) 제작에 사용됩니다.