판매용 중고 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 552HT #9238398
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ID: 9238398
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2016
Mask aligner, 4"
BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY OS2000 Motor control unit
With 7000 electronics
Process capability: 100 mm
Power supply: 208/220/240 V, 50/60 Hz
2016 vintage.
BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 552HT는 높은 수준의 정밀도와 반복 성을 가진 마스크 정렬 자입니다. 리소그래피 (lithography) 를 사용하여 복잡한 패턴과 설계 형상이 있는 인쇄 회로 기판 및 기타 제품을 생성합니다. 이 기계에는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 자동 웨이퍼 스테이지가 내장되어 있습니다. 웨이퍼 포지셔닝 시스템은 자동으로 웨이퍼를 X-y 평면에서 0.45 "m '의 정확도와 0.90" m' 의 반복성으로 중심을 이룹니다. 빔 모양 선택기 (beam-shape selector) 와 셔터 (shutter) 를 사용하여 정밀도를 높이고 정렬 오류를 줄일 수 있습니다. BSL Micralign 552HT는 AIS (Active Image Stabilization) 를 사용하여 마스킹과 이미징 중에 발생할 수있는 동작 흐림 효과를 줄입니다. 또한 활성 썰매 (sledge) 메커니즘을 사용하여 웨이퍼를 가로 질러 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 조정 가능한 photomask 플랫폼을 사용하면 최적의 정렬을 위한 미세한 위치 지정 및 조정이 가능합니다. 이 시스템에는 빠르고 정확한 마스크 정렬 이미지 처리를 위한 디지털 카메라가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 이미지 옵션이 유연해지며, 마스크 정렬 정확도가 뛰어납니다. 사용자는 자동 초점, 확대/축소, 조리개 제어 기능을 사용하여 초점, 해상도, 필드 크기를 조정하고 최적화할 수 있습니다. 포토 마스크 패턴을 표시하기위한 통합 CAD/CAM 프로그램이 포함되어 있습니다. BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 552HT는 많은 고급 기술을 사용하여 높은 수준의 성능과 정확성을 보장합니다. 정밀하고 반복 가능한 인쇄 회로 기판, 컴포넌트 및 기타 제품을 생산할 수 있습니다.
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