판매용 중고 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT #9238460

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT는 집적 회로, 센서 및 기타 전자 부품의 접촉 및 근접 리소그래피를 위해 설계된 마스크 정렬 자입니다. 그것 은 자동화 된 "마이크로리터그래피 '장비 로서" 실리콘' 기판 에 "포토마스크 '를 정확 하게 맞추어 노출 시킬 수 있다. 시스템은 기계 프레임, 마스크 정렬 기 헤드 및 진공 척으로 구성됩니다. 기계 "프레임 '은 강력 한 합금 으로 구성 되어 있으며, 장치 구성 요소 들 을 엄밀 히 지지 한다. 여기에는 공압 동작 틸팅 암 (tilting arm) 이 포함되어 있으며, 마스크 정렬 자 헤드의 위치를 조정하고, 마스크를 위치로 회전하고, 정확하고, 반복 가능한 위치를 제공합니다. 또한 조절 가능한 피트 (feet) 를 장착하여 프레임의 레벨과 안정성을 보장합니다. 마스크 정렬 기 헤드 (Mask aligner head) 는 기판 노출을위한 포토 마스크를 보관하도록 설계되었습니다. 정밀도는 최대 200nm, 속도는 최대 20mm/sec 인 x 및 y 축을 따라 머리를 움직이는 전동식 X-Y 단계에 의해 구동됩니다. 마스크 정렬 기 헤드에는 포토 마스크를 정확하게 찾는 압력 민감성 적외선 (IR) 레티큘이 장착되어 있습니다. 또한 헤드에는 광축 (optical axis) 의 초점 길이를 조정할 수 있는 이중 초점 머신이 있습니다. 진공 척은 기판의 픽업, 정렬 및 방출을 담당합니다. 단일 축 회전 단계와 진공 척 제어 모듈로 구성됩니다. 회전 단계는 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 구동되며, 기판의 정확하고 반복 가능한 위치를 허용합니다. 진공 척 제어 모듈 (vacuum chuck control module) 은 진공 및 대기 압력 모드 사이를 전환하여 기판의 안전한 부착 또는 방출을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 여러 안전 센서와 긴급 차단 스위치가 장착되어 있습니다. 안전 센서에는 스테퍼 모터가 과부하 된 시점을 나타내는 COP (Current Overload Protection), 마스크 홀더가 시작 위치를 떠난 시점을 나타내는 +/-2mm 고압 센서, 진공 수준의 변동을 감지하는 진공 센서가 포함됩니다. 비상 차단 (Emergency Shutoff) 스위치는 프레임 및 모터에 연결되며, 비상 사태 발생 시 기계를 종료하는 데 사용할 수 있습니다. BSL Micralign 542HT는 마이크로 리토 그래피 동안 처리량, 품질 및 안정성을 향상시키기 위해 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. 신뢰할 수있는 프레임 구성, 정밀 정렬, 자동 제어 (automated control) 의 조합으로 가장 복잡한 집적 회로의 접촉 및 근접 리소그래피에 이상적인 도구입니다.