판매용 중고 BROOKS / PRI AUTOMATION 002-7391-08 #9267822

BROOKS/PRI AUTOMATION 002-7391-08 마스크 정렬기는 광전자 및 집적 회로 패턴화를 위해 설계된 고급 도구입니다. Fine-line 및 high-precision photomask를 액세스하기 어려운 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 마스크 정렬기는 플랫폼 크기가 8 "x8" 인 컴퓨터 제어 X-Y-Theta 스테이지와 정밀도가 높은 정렬을 위해 0.5m로 무대 이동이 반복됩니다. 이중 소스, 이중 주파수 심도 UV 조명 소스 및 선형 셔터는 고품질 노출 제어 및 일관성 있고 정확한 노출 매개 변수를 제공합니다. 진공 척 접촉 (vacuum chuck contact) 설계를 통해 다양한 기판 재료와 두께로 간단하고 쉬운 기판 적재/언로드가 가능합니다. 또한, 마스크 정렬기에는 자동 초점 기능 (auto focus feature) 과 디지털 스테이지 포지셔닝 시스템 (digital stage positioning system) 이 장착되어 있어 원하는 좌표를 선택할 수 있습니다. 인터페이스가 포함되어 있어 좌표와 패턴 형상 (pattern geometries) 데이터를 직접 입력할 수 있습니다. 또한, 미리 정의된 정렬을 실행하도록 장치를 프로그래밍 할 수 있으며, 조정 가능한 마스크 및 스테이지에서 수동 조정이 가능합니다. 레이저 간섭계와 히스테리시스 형 선형 단계를 결합한 통합 8 "x-6" x-y 래스터 레이저 간섭계를 사용하여 정확한 이미지를 생성 할 수 있습니다. "레이저 '광선 의 가열 장치 는 더 큰" 미러' 와 더불어 더 조밀 한 정렬 을 하고, 따라서 더 낮은 정렬 의 오류 를 보장 한다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 는 추가 언어를 지원하므로 고품질의 결과를 빠르고 쉽게 얻을 수 있습니다. 또한, 잠금식 모니터, 비상 정지 (Emergency Stop) 등 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. BROOKS 002-7391-08 마스크 정렬기는 정확하고 정확한 포토 마스크 패턴화 및 마이크로 일렉트로닉 제작을 위한 탁월한 선택으로, 쉽고 신뢰성이 뛰어납니다.