판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9409371

BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 정렬 자는 집적 회로 칩 생산을 위해 사진 해설을 수행합니다. 이 제품은 BROOKS AUTOMATION 300-SF 모델의 후속 모델이며, 반복 가능하고 일관된 결과를 통해 정확한 패턴 전송을 달성하도록 설계된 완전 자동 사전 정렬 장비입니다. 마스크 정렬기는 두 가지 주요 컴포넌트, 즉 MASS (Multi-Axis Stepping System) 와 광 단위로 구성됩니다. 질량 (MASS) 은 마스크를 마이크론의 분수 내에 정확하게 정렬하는 6 축 로봇입니다. 광학 기계는 마스크 조명기, 광 응축기, 광학 렌즈 및 웨이퍼 스테이지 이동으로 구성됩니다. 광학은 최적의 노출 균일성을 제공하도록 설계되어, 공구가 높은 수준의 임계 치수 (critical dimension) 를 달성할 수 있습니다. PRE-300-CE는 사용 된 수정 된 광학에 따라 6-7cm의 필드 크기와 0.5-5 미크론의 해상도를 갖습니다. 이 자산에는 노출 균일성, 낮은 에너지 대역 광 노출 및 향상된 처리 위도를위한 0.5/1.0 NA 조명기가 있습니다. 마스크 조명기는 365nm에 최적화되어 있으며, 노출 제어 시간을 개선하기 위해 노출 변조가 내장되어 있습니다. 노출에 대한 I 라인 램프 (I-line lamp) 를 사용하며, 노출 분야에 걸친 노출 용량의 최적화된 제어를 위해 구동식 양극성 전압 변조기가 있습니다. 이 정렬기는 150 개의 마스크 (메모리 용량) 를 내장한 자동 배치 처리 기능을 갖추고 있으며, 개별적으로 프로그래밍 및 저장할 수 있습니다. 이 모델은 다이 투 다이 (Die-to-Die) 및 다이 투 이미지 (Die-to-Image) 등록뿐만 아니라 긍정적이고 부정적인 노출도 모두 지원합니다. 자동 교정 및 빔 모니터 (Beam Monitor) 기능을 통해 웨이퍼에 마스크 패턴을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE 는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 효율적인 운영 및 사용 편이성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 대용량 (May Volume) 과 고출력 (High Throughput) 생산 환경에 통합하기 위한 완벽한 도구 세트가 장착되어 있습니다. Si, GaAs, INP, SOI 등 다양한 기판과 호환되므로 다양한 반도체 애플리케이션에 적합합니다.