판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9256425

2014 년에 출시 된 Brooks BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner는 마스크 정렬 프로세스의 속도와 효율성을 높이기 위해 설계된 완전 자동화 된 Mask Aligner 장비입니다. PRE-300-CE Mask Aligner는 연구 및 생산 마스크 Aligner 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 3 가지 운영 모드를 제공합니다. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner는 복잡한 빛 노출 문제를 해결할 수있는 기능을 통해 MEMS, BiCMOS, optoelectronic 및 micro-fluidic 구성 요소와 같은 장치의 생산을 능률적으로 수행하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다재다능한 기계식 정렬기로, 진공 보조 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 사용하여 가면을 기판에 부착하고 고정밀 DC 모터를 사용하여 마스크 조작 단계를 구동합니다. PRE-300-CE에는 안정적인 옵틱 세트와 스테이지가 장착되어 있습니다. 여기에는 샘플 및 마스크 정렬을위한 정밀 조정 선형 단계 2 세트와 최적화 된 포커싱 스테이지 (focusingstage) 가 있습니다. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner에는 통합 소프트웨어와 노출된 샘플의 자동 제어 및 사후 처리를 위해 설계된 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 소프트웨어에는 정렬 정렬 프로세스에 대한 실시간 모니터링 장치가 있습니다. PRE-300-CE Mask Aligner는 마스크 및 기판 처리를 위해 고급 진공기로 설계되었습니다. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner 를 사용하면 사용자 친화적인 인터페이스와 다양한 마스크 Aligner 모드 덕분에 운영 요건을 빠르고 간편하게 충족할 수 있습니다. 이 도구는 리소그래피, 사진 마스킹, 유전체 코팅, 대기 플라즈마 프로세스, MEMS 구축, BiCMOS, 광전자 및 미세 유체 구성 요소와 같은 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. PRE-300-CE Mask Aligner는 400mm 및 45nm 노드 이하와도 호환됩니다. 연구, R&D 및 일상적인 생산 설정에 이상적인 레이아웃 도구입니다. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE Mask Aligner 는 최적화된 마스크 및 기판 처리 프로세스, 정확하고 정확한 노출 프로세스, 안정적이고 사용자 친화적인 소프트웨어 프로세스를 제공합니다. 이 자산은 레이아웃 (lay-out) 및 프로덕션 설정에서 이미 경제적이고 대중적인 선택입니다. PRE-300-CE Mask Aligner는 사용자가 생산성을 높이고 결함 및 손실을 줄일 수 있도록 도와줍니다. 이 모델은 운영 프로세스의 효율성을 높이고 주기 (cycle) 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다.