판매용 중고 ASYST 0FH3000-001 #9384810

ASYST 0FH3000-001 (ASYST 0FH3000-001) 은 반도체 및 기타 기판으로의 높은 정확도의 포토 마스크 패턴 전송을 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 표준 photomask 크기와 호환되며 다중 단계 고정밀도 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 대칭 및 독립적 인 x-y 테이블과 UV 접촉 이미징 소스로 구성됩니다. 0FH3000-001은 4 단계 정렬 프로세스를 사용하여 매우 높은 정확도의 포토 마스크 배치를 보장합니다. 두 개의 센서를 사용하여 포토 마스크 (photomask) 와 참조 포토 마스크 (photomask) 를 찾아 마스크를 기판에 정확하게 정렬합니다. 그런 다음이 장치는 두 개의 투영 간섭계를 사용하여 각각의 photomask 레지스터 표시를 식별합니다. 이 정보는 fiducial 표시와 관련하여 photomask에 각각의 다이를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 photomask의 전체 표면 영역에 대한 배치 정확도가 높아집니다. ASYST 0FH3000-001에는 다중 영역 시야도 있습니다. 이 기능을 통해 기계는 다중 LED (multi-zone) 또는 다중 영역 (multi-zone) 조명을 대상으로 다중 영역 및/또는 전체 크기의 포토마스크에서 균일 한 보정을 보장할 수 있습니다. 이 도구는 간섭계 (Interferometric) 정렬 민감도와 결합된 영역 이미징 시스템을 사용하여 전체 칩 영역 (Full Chip Area) 에 대한 Photomask 패턴을 빠르고 정확하게 배치합니다. 0FH3000-001은 웨이퍼로 높은 정확도의 포토 마스크 패턴 전송을 위해 설계되었습니다. 높은 정확성과 신뢰성을 보장하기 위해 ASYST 0FH3000-001은 고정밀도 액추에이터, 제로 포스 드라이브 시스템, 고급 화폐 내성 재료와 같은 고급 옵토 기계적 설계 요소를 제공하여 서비스 없는 작동을 만듭니다. 에셋에는 또한 고해상도 이미징 소스가 장착되어 있어 서브 미크론 포토 마스크 (sub-micron photomask) 패턴의 탁월한 성능을 보장합니다. 요약하자면, 0FH3000-001은 전자적으로 성장하는 기판에 대한 높은 정확도의 photomask 패턴 전송을 용이하게하도록 설계된 고급 마스크 정렬기입니다. 존 (Zone) 이미징 시스템과 함께 다중 단계의 정확한 정렬 모델을 통해 균일 한 교정을 보장합니다. 이 장비에는 제로 포스 (Zero Force) 드라이브 시스템과 신뢰할 수있는 작동을 위해 고급 화학 내성 재료가 장착되어 있습니다.