판매용 중고 ADTEC ACP 630A #293598502
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ADTEC ACP 630A 마스크 알리너 (Mask Aligner) 는 반도체 산업에 필수적인 도구이며, 마이크로 칩 제작을위한 패턴을 정확하게 노출시키기 위해 포토 마스크를 웨이퍼에 정렬하는 데 사용됩니다. 2 축 정렬기, 스테이지 컨트롤러 및 조명 시스템으로 구성됩니다. 정렬 프로세스는 스테이지 컨트롤러에 빈 반도체 웨이퍼 (wafer) 를 배치하는 것으로 시작되며, 이를 통해 수평 (horizontal) 과 수직 (vertical) 동작이 정밀해집니다. 일반적으로 석영으로 만들어지고 빛에 민감한 재질로 코팅 된 포토 마스크 (photomask) 를 웨이퍼 위에 배치하면 정확하고 정확하게 정렬해야합니다. 2축 정렬기 (two-axis aligner) 는 이를 달성하기 위해 사용되며 동적 정렬을 제공하는 선형 (linear) 및 회전 (rotational) 모터로 구성됩니다. 조명 시스템은 UV-Lamp와 Stop-Prism의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. UV-램프 (UV-Lamp) 는 자외선을 공급하여 포토 마스크를 웨이퍼에 노출 할 수 있습니다. 포토 마스크 전체에 빛을 균등하게 분산시키는 빔 스프레더가 특징입니다. 정지 프리즘 (Stop-Prism) 은 포커스를 웨이퍼의 마크 포인트에 정확하게 정렬하는 적외선 빔을 생성하는 데 사용됩니다. 이렇게 하면 마스크 정렬 프로세스의 정확도가 더욱 향상됩니다. ACP 630A는 +/- 2 ° m 정확도와 정렬 할 수있는 올인원 마스크 정렬 자입니다. 견고한 디자인으로 제작되었으며, 산업 응용 프로그램 및 24/7 운영에 적합합니다. 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 더욱 잘 정렬하고, 부정확성을 최소화하고, 공정의 효율성을 높일 수 있는 고해상도 카메라가 장착되어 있다.
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