판매용 중고 ABM ABM/6/350/NUV/DCCD/M #9293272
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ABM ABM/6/350/NUV/DCCD/M은 고급 반도체 제조 공정을 위한 고성능 최첨단 마스크 정렬기입니다. 감광 물질과 기판 (예: 웨이퍼) 사이의 정확한 접촉 정렬이 가능하며, 정확도와 반복성이 우수합니다. 마스크 정렬기는 안정성 향상을 위해 350nm 파장, 나노 미터 (nm) 해상도 및 동적 충전 제어 드라이브 (DCCD) 장비의 빔 소스를 갖추고 있습니다. ABM ABM/6/350/NUV/DCCD/M은 대용량 포토 마스크 생산을 가능하게하기 위해 매우 정밀한 정렬 및 패턴 정렬이 가능합니다. 이것은 프로그래밍 된 정렬 소프트웨어 (alignment software) 와 전동 단계에 의한 웨이퍼의 제어 조작을 통해 달성됩니다. 이러 한 "모우터 '는" 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 할 수 있는 용량 이 있는 고정밀 동작 조절 장치 에 의하여 구동 된다. 이 장치에는 6 인치 (6 인치) 다중 계층 광학 시스템이 포함되어 있어 뛰어난 이미징 및 정렬 정확도를 제공합니다. 이것은 350 nm (near-자외선) 의 근자외선 빔에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 장치 표면에서 공정 유발 응력을 현저히 줄이는 것으로 입증되었다. 이것은 차례로 기판 결함의 발생률을 감소시키고 수율을 향상시킵니다. 또한, 정렬자에는 정밀도, 반복 가능성 및 정확성을 향상시키는 DCCD (dynamic-charge-control drive) 장치가 포함되어 있습니다. DCCD 머신은 위치 조정 시간 (position-tuning time) 을 줄여 작동하는데, 이는 정렬 과정에서 외부 간섭으로 인한 충전 기반 흥분을 방지하기 때문입니다. 복잡한 고정밀 제조 응용 프로그램에는 ABM ABM/6/350/NUV/DCCD/M을 사용할 수 있습니다. 세부미크론 (sub-micron) 기능 크기와 고급 MEMS 및 NEMS 프로세스와 같은 반도체 작업 환경에 도전하는 환경에 적합합니다. 전반적으로 ABM ABM/6/350/NUV/DCCD/M은 정확하고 반복 가능한 정렬 및 이미징 기능으로 인해 고급 반도체 포토 마스크 제작에 적합한 선택입니다. 견고한 디자인과 향상된 정밀도는 수익률 및 비용 절감, 유지 보수 (maintaininig) 는 최고 수준의 정확도를 향상시킵니다.
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