판매용 중고 ABM 6/350/NUV/DCCD #293809568
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ABM 6/350/NUV/DCCD는 반도체 제조, 마이크로 패브라이션 및 기타 산업에서 기판에 대한 정확한 패턴화가 필요한 정밀 사진 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 고급형 마스크 앨리거입니다. 이 마스크 조정기 (Mask Aligner) 에는 다양한 기능과 기능이 장착되어 있어 고해상도 (High-Resolution) 조정과 정확한 노출 제어가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. ABM 6/350/NUV/DCCD 의 핵심은 견고한 기계적 설계로, 정렬 및 노출 과정에서 안정성과 정확성을 보장합니다. 이 장비는 고품질 부품과 재료를 통합하여 진동을 최소화하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 안정성은 기판 (submicron features) 을 사용하여 작업할 때 기판에 대한 정확한 정렬과 정확한 패턴화를 달성하는 데 중요합니다. ABM 6/350/NUV/DCCD의 주요 기능 중 하나는 고급 정렬 기능입니다. 이 시스템에는 마스크 (mask) 와 기판 (substrate) 사이의 서브미크론 정렬 정확성을 가능하게 하는 정교한 정렬 장치가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 근접성 (intimity) 및 접촉 정렬 (Contact Alignment) 모드를 모두 수행할 수 있으므로 사용자가 특정 애플리케이션 요구 사항에 가장 적합한 정렬 방법을 선택할 수 있습니다. 이러한 정렬 (Alignment) 모드의 유연성을 통해 사용자는 다양한 패턴화 (Patterning) 작업에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. ABM 6/350/NUV/DCCD는 정렬 기능 외에도 정확한 노출 제어를 제공합니다. 이 도구에는 전체 기판 표면에 균일 한 조명을 제공하는 고강도 UV 광원이 장착되어 있습니다. 이 균일 한 노출 (uniform exposure) 은 다양한 피쳐 크기와 밀도를 갖는 복잡한 패턴에도 일관된 패턴 생성 결과를 보장합니다. 에셋은 또한 조정 가능한 노출 매개 변수 (예: 광도, 노출 시간) 를 특징으로하며, 사용자가 노출 설정을 세밀하게 조정하여 원하는 패턴화 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, ABM 6/350/NUV/DCCD에는 기판 평판 및 두께의 변형을 보상 할 수있는 동적 자동 초점 모델이 포함되어 있습니다. 이 피쳐는 노출 과정에서 마스크-기판 거리 (mask-to-substrate distance) 가 일정하게 유지되므로 전체 기판 서피스에서 균일 한 패턴화가 이루어집니다. 또한 자동 초점 (auto-focus) 장비는 기판 지형의 변형으로 인한 수동 조정 및 재작업의 필요성을 최소화하여 시스템의 전체 처리량을 향상시킵니다. ABM 6/350/NUV/DCCD의 또 다른 주목할만한 기능은 동적 접촉과 공압 그립이있는 양면 척 디자인입니다. 이 설계를 통해 사용자는 크기와 모양이 다른 기판 (substrate) 을 쉽게 로드하고 정렬할 수 있으며, 노출 과정에서 안전한 그립 (grip) 을 확보할 수 있습니다. 양면 척 (Dual-sided chuck) 디자인은 기판 처리 오류를 최소화하고 섬세한 기판에 대한 손상 위험을 줄입니다. 전반적으로 ABM 6/350/NUV/DCCD는 최첨단 마스크 정렬기로, 다양한 포토리토그래피 어플리케이션에 높은 정확도, 유연성, 신뢰성을 제공합니다. 반도체 (반도체) 제조업체· 연구기관 (연구기관)· 기타 산업을 위한 첨단기능과 기능으로, 서브미크론 해상도의 기판에 대한 정확한 패턴화가 필요하다.
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