판매용 중고 ABM 6/350/NUV/DCCD/M #293778198

ABM 6/350/NUV/DCCD/M은 마이크로 제조 프로세스에 사용되는 최첨단 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬기는 2 개 및 4 개 마스크 프로세스에 적합하며 6 축 동작 정확도와 함께 고해상도와 정밀도 정렬을 제공합니다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M은 서브 미크론 정확도로 회절 제한 패턴을 생성하도록 설계되었습니다. 고급적이고 정확도가 높은 광학 (optic) 을 통해 정확하게 정렬할 수 있으며, 처리량과 균일성을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 마스크 정렬기는 자동 교정 단일 포인트 정렬 장비를 갖추고 있으므로 수동으로 초점을 맞춘 optic (optic) 이 필요하지 않습니다. 따라서 수작업 (manual calibration) 절차가 길지 않아도 시스템을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M에는 정확한 기능 크기 제어를 위한 프로그래밍 가능한 조리개 다이어프래그와 정확한 기능 측정을 위한 고해상도 자동 광학 현미경 제어가 있습니다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M은 고속 마스크 정렬을 위해 6MHz 스캔 속도를 가지며, 고에너지 및 저에너지 노출 프로세스를 모두 수행하도록 설계되었습니다. 또한 가변 레이저 온 타임, 쇼트 펄스 (short-pulse) 및 노출 스와즈 (swaj) 조정이 가능하여 사용자가 각 기능의 노출 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. 이 "마스크 '정렬 장치 에는" 웨이퍼' 척 히터 와 온도 조절 장치 가 장착 되어 있어서 정확 한 온도 "데이터 '를 입력 하고 모니터링 할 수 있다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M에 포함 된 NUV (Near Ultra Violet) 소스는 미크론/볼트 기술에 대한 최적의 조명 파장을 생성합니다. DCCD (Dynamic Coherent Contrast Detection) 머신은 정밀한 정렬 및 확대 제어 기능으로 향상된 노출 균일성을 보장합니다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M은 고급 사진 분석 연구 및 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 더 높은 해상도 패턴을 생성하고, 기존의 정렬자 (aligner) 보다 더 빠르고 정확하게 복잡한 레이어를 처리할 수 있습니다. ABM 6/350/NUV/DCCD/M은 산업 표준에 따라 구축되어 산업 생산에 이상적입니다. 이 마스크 정렬기는 초정밀 정렬 도구와 스마트 옵틱 (Smart Optics) 을 사용하여 고급 마이크로패브라이션 결과를 달성하는 데 적합합니다.