판매용 중고 TSUKUSHI Reticle Stocker #9137194

TSUKUSHI Reticle Stocker
ID: 9137194
Lithograph machine storages.
TSUKUSHI 레티클 스토커 (Reticle Stocker) 는 반도체 제작 프로세스에 사용하기 위해 레티클을 효율적으로 저장하고 검색하도록 설계된 다중 축 기계 도구입니다. 이 기계는 레티클 (reticle) 을 빠르고 정확하게 전송하는 고속 로봇 장비와 레티클 (reticle) 내부 재고를 관리하는 자동 제어 시스템 (Control System) 을 갖추고 있습니다. 재고 단위에는 레티클 (reticle) 보유 용 선반과 선반 간 레티클 이동을위한 2 열 컨베이어가 포함되어 있습니다. 이 기계는 현재 재고 (inventory) 및 스톡 (stock) 상태를 추적하면서 여러 선반에서 레티클을 저장하고 읽어들이도록 설계되었습니다. 이 도구는 레티클을 정확한 위치와 방향으로 유지하고, 처리를 최소화합니다. 자산은 시간당 최대 10,000 개의 레티클을 정렬하고 검색 할 수 있으며, 정확도는 최대 1 미크론, 최고 속도는 180 미터/분입니다. 이 속도를 통해 기계는 일반적인 생산 주기 동안 레티클을 쉽게 저장하고 검색 할 수 있습니다. 레티클 스토커 (Reticle Stocker) 는 또한 레티클이 올바르게 처리되도록 특별한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 기계는 공압 모델을 사용하여 레티클 (reticle) 을 신중하게 조작하여 레티클 (reticle) 의 갑작스럽고 예상치 못한 움직임을 방지합니다. 이 장비에는 자동 비상 정지 시스템 (Emergency Stop System) 이 있는데, 이 시스템은 위험 시 기계를 즉시 종료하여 운영자와 더 넓은 환경 (Environment) 모두에 안전합니다. TSUKUSHI Reticle Stocker는 클린 룸 및 비 클린 룸 환경 모두에서 사용하도록 설계되었습니다. 스토커 내부의 먼지, 습도, 온도 수준을 제어하기 위한 다양한 옵션을 제공하며, 양쪽 환경 모두에서 레티클이 깨끗하고 손상되지 않은 상태로 유지되도록 합니다 (영문). 또한, 이 기계는 레티클 스톡 (reticle stock) 수준에서 실시간 데이터를 제공하는 직관적인 인터페이스를 가지고 있으며, 이를 통해 운영자는 인벤토리를 효율적으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 사용자는 잠재적 인 부족에 대한 특정 매개변수를 설정하거나 특정 레티클 (reticle) 의 사용을 모니터링할 수 있습니다. 이 데이터는 운영 및 스케줄링 시스템에 직접 공급되어 운영 환경을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, 레티클 스토커 (Reticle Stocker) 는 클린 룸 및 비 클린 룸 환경에서 레티클 처리를 최적화하도록 설계된 안정적이고 효율적인 기계 도구입니다. 자동화된 제어 장치 (control unit), 고속 로봇 머신 (high-speed robotic machine) 및 특수 안전 기능을 통해 머신은 레티클이 손상되지 않고 정확하게 처리되도록 도와줍니다.
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